射频磁控溅射含氟羟基磷灰石涂层的研究.pdfVIP

第24卷 第3期 材料科学与工程学报 总第101期 V01．24No．3 ofMaterials Journal ScienceEngineering Jun．2006 文章编号：1673-2812(2006)03-0440-04 射频磁控溅射含氟羟基磷灰石涂层的研究 盛敏，赵康，井晓天 (西安理工大学材料科学与工程学院，陕西西安710048} 【摘 要】 讨该涂层组织结构，不同氟含量和温度对涂层晶化程度的影响。利用扫描电镜(SEM)观察FHA生物涂层的表面形 量的增加可大大提高涂层的晶化程度，制备的FHA涂层致密、均匀。700。C晶化处理的涂层结晶度较高。 【关键词】 含氟羟基磷灰石；生物涂层；射频磁控溅射；钛合金(Ti6A14V) 中图分类号：TB39 文献标识码：A of Radio PreparationHydroxynuorapatiteCoatingby Frequency Sputtering Magnetron SHENG Xiao-tian ． Min，ZHAO Kang，JING Scienceand of (Materials Engineering，Ⅺ’anUniversity Technology，Xi’an。710048，China) was onTi6A14Vsubstrateradio coatingdeposited by frequencymagnetronsputtering． 【Abstract】Hydroxyfluorapafite(FHA)bioactive To themicrostructureofFHA andinfluenceoffluoridecontentand onthe ofthe study coating temperaturecrystallinities FHA were with electron andn(Ca)／n(P)of morphologies，phases coatingsanalyzedscanning microscopy(SEM)，X—ray resultsshowthat of are withtheincrementof energydispersive crystallinitieshydroxyfluorapatitecoatingsobviouslyimproved X—ray(EDS)．The fluoridecontent．The aleuniformanddense．The of werewhatheattreatedat700。C． as—sputteredcoatings highcrystallinitiescoating 【Keywords】hydroxyiluorapatite；bioactivecoating；radiofrequencymagnetronsputtering；tit