扭转微镜光学致动器的探究.pdfVIP

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2017-08-17 发布于安徽
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扭转微镜光学致动器的探究.pdf

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扭转微镜光学致动器研究 ! 7 ! ! ! ! 7 吴文刚 !栗大超 !袁勇 !孙卫 !阎桂珍 !郝一龙 !靳世久 # # 北京大学微电子学研究院!北京 # !. !#$! 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室!天津 $ 7. $7 摘要!应用基于表面硅%体硅微电子工艺的混合微加工技术研制了新型扭转微镜光学致动器!实现了致动器结构与具有光纤自固定%自对准功能的新型光纤定位保持结构的单片集成新型扭转微镜光学致动器的机电和光学特性研究表明!其工作寿命超过 # 次动作!最小动作时间估计可低于 ! !存在驱动微镜自然地翻转角的静电阈值电压和维持微镜处于已翻转角状态的静电最 7’Q ‘e ‘e 低保持电压#其微镜的表面粗糙度及其分布基本满足光的波分复用技术等的应用要求新型扭转微镜光学致动器可在光纤网络中作为光开关或可变光衰减器使用设计%制作及研究了由新型扭转微镜光学致动器组成的光开关阵列 7_7 关键词!扭转微镜光学致动器#光纤自定位保持结构#光开关中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # $ @578C ; !C$!B$$C7 $#B!8 # # A()*+1(3/0(’=-033(3( 10,4+4,1741(3/ . ! 7 ! ! ! ! ! ! JK J-,(, bDX(3G(+ NK;5 N+, 4K5 J-) I I I ! ! 7 N;5 L1)ZG-, !P;6 N)*+, !MD5 4G))1 I h ! ! ! # !C)*+,-,’,. !-0%.1.0,%*-0+ 2.3-* 5*-6.%+-, 8.--* !#$! :;-* 7C#,,.O. @A%,% / 4 7 9 4 7 7 ! ! ! $ 2%.0-+-*!.+’%-* F.0;*1 *I)*+,%’B.*,+ F-*-*5*-6.%+-, F-*-*$7 :;-* / 4 47 9 7 9