液-液界面微器件自组装的探究.pdfVIP

液．液界面微器件自组装研究 刘梅张建刚 吕曜夏善红 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京 100080 摘要：本文所述的液一液界面微器件自组装，是一种新型的自组装方法，它通过物理手段，控制微 器件各个面的亲水、疏水特性，*-3-J，：Z使其在水．全氟萘烷和水?乙酸丁酯界面排列成有序的聚集体。微器 件之间通过界面张力相互作用，界面自由能最小化使其以不同的方式聚集在一起。理论计算表明，这种 方法适用于尺寸在微米到毫米范围内的微器件，有望成为微机电系统、微电子、光学等领域的一种集成 装配技术． 关键词：亲水性疏抽陛界面自由能微器件界面张力 1．引言 自组装的概念很广泛，如分子自组装、纳米自组装等等，已经取得了很多成就。本文描述的微器件在液． 液界面自动排列成有序聚集体的方法，是分子自组装和纳米自组装在亚毫米尺度的延伸。 目前液．液界面自组装技术主要包括两种。Yamaki等【1】发展了以水银为基底的在水．水银界面上自组装纳 法加以发展，在水．全氟萘烷界面上，实现了毫米量级的微小器件的自组装。这说明经过适当处理的微器件 能够在二维尺度上实现自动装配。 2．实验 作者在水．全氟萘烷和水一乙酸丁酯界面上都实现了亚毫米量级的微器件的白组装。这种方法适用于尺寸 从微米量级到毫米量级范围内的微器件，有望应用在微电子、光学和微机电系统等领域。 2．1基本原理 在微尺度下，与微器件的尺寸成三次方的重力不再起主要作用，取而代之的是与微器件表面积成正比的 力，如表面张力、界面张力、静电力、范德华力等等。我们采用的微器件尺寸分别为：360岫x360岬x350岬， 7601．tm×760I．tm 面张力，所以只需要考虑界面张力。界面张力由界面自由能最小化产生，表1为不同界面的自由能比较。 表1 不同界面的自由能比较【4】 界面自由能T 水 全氟萘烷 乙酸丁酯 亲油表面 亲水表面 硅 低 高 高 高 低 疏水化的硅 高 低 低 低 高 通过控制调节微器件各个表面的亲水疏水特性，可以使其在溶液中达到特定位置时，系统的界面自由能 最小，从而使系统达到平衡。 本实验使用了两种微器件，均为长方体，一种尺寸为：360lamx360lain×350岬，一个表面疏水，其余 表面亲水，下文用微器件1表示；另一种尺寸为：7609m×760lain x350lain，一个表面亲水，其余表面疏水， 下文用微器件2表示。在水．乙酸丁酯系统中，微器件1漂浮在水．乙酸丁酯界面时系统界面自由能最低；在 水．全氟禁烷系统中，微器件2漂浮在水一全氟萘烷界面时系统界面自由能最低。 56 2．2实验过程 2．2．1 微器件的制备、处理方法 x350 在清洗干净的硅片生长一层5000h的氮化硅，然后将其划成需要的尺寸(360岬×360p．mktrn， 760 gm×760岬x350岬两种)。氮化硅表面以及划片后出现的新鲜硅侧面都是亲水的。在微器件指定表面 上覆盖一层二氯二甲基硅氧烷，可以使该表面从亲水转变为疏水。 其它实验用品主要有水(去离子水)、乙酸丁酯、全氟萘烷和两个称量瓶。称量瓶的亲水疏水特性处理 方法与硅片相同。 2．2．2微器件的自组装 乙酸丁酯和全氟萘烷均为油性液体，不溶于水，均可与水形成一层清晰的界面。乙酸丁酯密度(d= 萘烷上。 将微器件1注射到水一乙酸丁酯界面上，轻轻晃动整个系统；将微器件2注射到水。全氟萘烷界面上，轻 轻晃动整个系统。适当晃动可以使微器件脱离不平衡状态，趋向界面能最低的平衡态。停止晃动后静置系统， 最终两种经过不同处理的微器件都聚集在各自液体界面中央位置，而且排列成有序的聚集体(图1和图2)。 图1 微器件l在水．乙酸丁酯界(面微器件上表面的 图2微器件2在水．全氟萘烷界面(微器件上表面亲水，其余五个 氮化