六自由度奈米测量机之量测系统组装及校正.pdfVIP

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2017-08-17 发布于安徽
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六自由度奈米测量机之量测系统组装及校正.pdf

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2011年第45卷N02 103 六自由度奈米测量机之量测系统组装及校正沈金钟，觉文郁，吴家鸿，卢群中虎尾科技大学摘要：介绍一个六自由度奈米级精度测量机台(行程为25n衄n×25ram)之量测系统的组装及系统的校正，此六自由度奈米测量机分为两部份，第一部分为利用五根压电致动器所组成的四自由度(z、如、研、0z)j}b偿平台，用以补偿组装及加工误差。第二部份为利用y型导轨架构成之XY双轴滑轨平台，配合音圈马达之推动，使平台能达到 XY轴向之定位移动。在本文中，除了报告最测系统的架设步骤及校正结果外，亦提出初步的控制结果。关键词：六自由度；扫描平台；测量系统；校正中图分类号：TC,803 文献标志码：A ConstructionandCaUbrafionofMeasurement Systems ofPrecision Long-rangeScannhlgStage Shen，W朗一Yu WuandChuen—ChunhI Jing-Chung Jywe，Chia-Hung this constructionandcalibr商onofthem朗删呦圯m ofa A妇t：Inpaper，the systems isintroduced．Thefwst is afour-axes 5 long-range(25nan×25roan)scanningnano-stage stageiIllegmtedby piezo-stage(with ball acnIalo瑁)andatwo-axis shaftmotordriven theball utilizestwoshaft guided guidndstage piezoelectric long-range stage．And motorto themovementXandYaxis the driven is provide along throughoutits∞锄Ilil[19l锄[ige．Whilepiezoelectricstaged∞igned thevertical and the of second this to whale the compensate straightness，pitch，rollyow明艄throughoutscanningI甜lge stage．In the of constngfionofthis isintroducedand resultscalibrationare paper．the process 6DOFⅡ配a嗣jI毪n删system proposed． ICeywords：six．dI笔re盼西白ee凼rn，8cflllning systdm，calibration． stage，nano-stage，measurement 来做导螺杆的预压