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第 卷 第 期 低 温 物 理 学 报 !
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年 月 +,-(./.0123(4516517 8.9:.34823.:,;/-+/ !
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脉冲激光沉积原位生长+ ! 薄膜的研究
, #
余增强# 马小柏 聂瑞娟 姚 丹 王福仁
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北京大学物理学院 人工微结构和介观物理国家重点实验室!北京 *))E*
! !
文章介绍了我们利用脉冲激光沉积 #方法原位生长 超导薄膜的工作 实验
:5Z 9 A ’
! ! F !
采用两步法的方案$高真空条件下在 #衬底上沉积 混合物加覆盖 层的
41 ))* 9 PA 9
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双层结构!然后将该前驱体在 左右的 气氛中原位退火!成功制备出了有较好重复
=)R 4?
性的 超导薄膜!其最高的起始转变温度为 !转变宽度在 左右 我们认为该方
9 A =’#O *O ’
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法为进一步研究基于 9 A 的多层结构器件提供了一种可行的发展思路’
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关键词$9 A 薄膜!脉冲激光沉积!原位生长
F !
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-. M# M) M) M*) M=)
*引 言
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自 年 被发现具有高达 的超导电性以来 !由其引发的研究热潮大致围
!))* 9 A HO
F !
绕着两个主题展开$一是回答 为什么会具有如此高的 !即其超导机制的问题’二是
9 A
F ! $
人们如何更好地利用这种 较高的新型材料!即其应用推广的问题 对于前者!目前人们已
’
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