脉冲激光沉积原位生长MgB2薄膜地研究.pdfVIP

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第 卷 第 期 低 温 物 理 学 报 ! ! # $%’! (%’# !! !! !! !! !! 年 月 +,-(./.0123(4516517 8.9:.34823.:,;/-+/ ! !))# ** (%’ !))# 脉冲激光沉积原位生长+ ! 薄膜的研究 , # 余增强# 马小柏 聂瑞娟 姚 丹 王福仁 !! !! !! ! !! 北京大学物理学院 人工微结构和介观物理国家重点实验室!北京 *))E* ! ! 文章介绍了我们利用脉冲激光沉积 #方法原位生长 超导薄膜的工作 实验 :5Z 9 A ’ ! ! F ! 采用两步法的方案$高真空条件下在 #衬底上沉积 混合物加覆盖 层的 41 ))* 9 PA 9 ! F F 双层结构!然后将该前驱体在 左右的 气氛中原位退火!成功制备出了有较好重复 =)R 4? 性的 超导薄膜!其最高的起始转变温度为 !转变宽度在 左右 我们认为该方 9 A =’#O *O ’ F ! 法为进一步研究基于 9 A 的多层结构器件提供了一种可行的发展思路’ F ! 关键词$9 A 薄膜!脉冲激光沉积!原位生长 F ! $ ! ! ! ! -. M# M) M) M*) M=) *引 言 !! % * 自 年 被发现具有高达 的超导电性以来 !由其引发的研究热潮大致围 !))* 9 A HO F ! 绕着两个主题展开$一是回答 为什么会具有如此高的 !即其超导机制的问题’二是 9 A F ! $ 人们如何更好地利用这种 较高的新型材料!即其应用推广的问题 对于前者!目前人们已 ’

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