孪生对靶溅射ZnO%3aAl薄膜地研究.pdfVIP

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2017-08-16 发布于安徽
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竺竺翌竺竺翌!!竺!竺兰竺竺!垄—J 孪生对靶溅射ZnO：Al薄膜的研究① 薛玉明刘维一朴英美李凤岩何青周志强孙云南开大学光电子所，天津，300071 摘要：采用对向孪生靶溅射ZnO：AI(ZAO)薄膜可减少等离子体对基底薄膜轰击损伤，沉积速率与结晶程度高；不同气压溅射的ZAO薄膜，其透光率在波长小于700nrn时基本相同，在膜电子迁移率较大、电阻率低，更适合做CIS薄膜太阳电池窗口层或透明导电膜。关键词：Zn0薄膜孪生对靶透光率 theeffectof bombardmentthe canreduce the of 0nthebasethin Abstract：It plasma films， and the to has twin ZnO： highdepositionspeedhighcrystaldegree，usingtargetssputter transmissionoftheZAOthinfilms underdifferent Al(ZAo)films。The deposited pressures iS identieallessthan iSa11over nearly at 700nm，and 80％at400～700nm(over90％at thin of 550 thickerZAO filmsare transmissionat than700 nm)．The higher more nm．The underthe2Pa islower that 1Pa depositionspeed sputterpressure than underthe sputter the thethinfilmsis electron of the islower． pressure，but mobility higher，andresistivity 2Pa Therefore，thethinfilms underthe aremoresuitableforthe deposited sputterpressure windowoftheCISthinfilmssolarcellsorthe thin conductivefilms． layers transparent filmtwin transmission Keywords：Zn0targets 0引言氧离子与反应不充分的金属粒子进入吸收层起到掺杂效应，影响其性能，因而采用ZnO陶瓷靶材进行 ZnO薄膜在太阳光可见光谱中具有较高的透无氧射频溅射本