等离子体表面处理对YBCO薄膜表面形貌地研究.pdfVIP

1338 功 能 材 料 2004 年增刊 （35 ）卷 等离子体表面处理对YBCO 薄膜表面形貌的研究* ∗ 赵 跃，刘 敏，董 杰，梁锦霞，何 嘉，索红利，周美玲 （北京工业大学新型功能材料教育部重点实验室，北京 100022 ） 摘 要：采用自制的等离子表面处理装置对MOD 法 制得YBCO薄膜进行表面处理。我们通过控制等离子 处理时间，辉光电流，处理温度以及退火的工艺流程， 发现YBCO超导薄膜表面成分，表面形貌发生的明显 的改变。这种简易快速的方法将对YBCO薄膜表面质 量提高起到有效的作用。 关键词：等离子表面处理；YBCO ；MOD 中图分类号：TM26 文献标识码：A 文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊 1 引 言 近年来，随着高温超导薄膜电子器件的迅速发 图1 自制的等离子表面处理设备示意图 展，对于薄膜材料的质量要求越来越高。这种要求不 Fig 1 Schematic of the plasma treatment apparatus 仅仅集中在薄膜高的临界温度 Tc ，临界电流密度 Jc 的要求，特别是对更低的表面微波电阻 Rs 提出了更 3 结果和讨论 [1] 高的要求 。目前，由于钇系薄膜的微波薄膜电阻比 3.1 薄膜温度对等离子处理结果的影响 银、金的微波薄膜电阻小，用该薄膜制备的延迟线、 图2 中薄膜均是在SrTiO 基底上用MOD法沉积的 3 滤波器及天线等器件的性能比银，金等金属制作的器 YBCO ，其中(a) 薄膜等离子处理前加热至的温度为 件性能更优越。它具有体积小，重量轻、低损耗和低 300 ℃，(b) 的温度是700 ℃。两薄膜均通过辉光电流 的信号色散等优点[2,3] 。因此，为了获得高质量的 20mA ，10s的等离子表面处理。从SEM 的结果可以看出 YBCO 超导薄膜，对其进行表面处理受到了广泛的重 在其他相同等离子处理工艺的条件下，升温至700℃的 视[4,5] 。 薄膜表面与在低温时处理的薄膜表面相比有着良好 2 实 验 的致密性和均一性。此外，(b) 图中的亮点也较(a) 图 减少。经能谱检测，这些亮点是以CuO为主相的杂质。 采用自制的等离子表面处理设备。腔体由直径约 造成上述现象的原因是，Ar+传递给表面YBCO颗粒的 20cm ，高约20cm 的不锈钢制成。采用直流放电方式 能量超过了颗粒稳定的最低能量，这样处在不同位置 产生等离子体。该设备还可以对样品进行加热。样品 的YBCO颗粒受到Ar+轰击的影响不同，那些有足够能 表面与电极的距离5cm 左右。在等离子处理之前，将 量的颗粒能够在表面进行移动迁移至孔隙的位置上， 用MOD 法制备的YBCO 薄膜（5mm ×5mm ）水平置 从而形成更稳定的结构[5] 。而高温下进行等离子表面 于腔体内 （如图所示）。在抽真空的同时，Ar 气的通 处理，除了Ar+提供的能量以外，温度还能补充额外 气速率为0.3 L/min ，真空室内的真空度达到700Pa 。 的能量，更有利于YBCO颗粒在薄膜