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薄试样的高分辨电子显微像的形成原理研究
王英敏1董闯1
李春艳1石 勇 2
大连理工大学1.材料学院2.环境学院,辽宁大连116024
高分辨透射电镜(highresolutiontransmission
electronmicroscopy,HRTEM)能直接反映晶体的投
影结构,是目前确定晶体材料原子结构的一项关键
技术。与之相对应的高分辨电子显微像图像处理技
术实质是电子显微像成像的求逆过程,即从像函数
出发求得晶体结构的方法。目前,最常用的是尝试
法[1]、出射波重构法[2]和解卷技术[3,4]。(1)尝试法
是一种传统方法,主要通过像模拟计算才有可能正
确地解释实验高分辨像。(2)出射波重构的方法是
目前日趋成熟的高分辨像图像处理方法,它能消除
欠焦、球差等对图像的影响,解决了相衬离位现象,
还可以精确测定原子列的位置,将电镜的分辨率由
点分辨极限延伸至其信息分辨极限。
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