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标准漏孔校准装置 王延青 (上海航天局第八零八研究所200031) The CalibrationofA ApparatusStandardLeak WangYanqing (№808ResearchInstituteof Bureauof shaIlghai Astronautics200031) [摘要】本文介绍的校准装置，它可以“用已知漏率值的参考漏孔相对比较法来校准漏孔一。校准范围(10-6～l旷to) Pa．mVs。 [关键词】漏孔相对比较校准装置 ^bstract：ThisintroducesthecalibrationThich r印ort apparatusis thereference1eak ne酣through intherelative oftheknowTl coⅢparisonⅢethod leakageratevaluetocalibrati肌leaks． Theca¨bratj oJ】rangejs(10—5～10-10)Pa．Ⅲ3／s． conducteda of Having greatdeal ej【periment，thecalibration f∞ctions Bpparatus wellaf)dsh佣s a11d1ittleerrorthe isfulfilled． st曲ility expectedobjective I(ey舳rds：Le8ks，Relativecomparison，Chlibrationapparaus． 1前言 国内外许多航天飞行器的发射失败和不正常工作，与泄漏有关的例子很多。这些航天器均 在真空环境下长期工作。为了保持舱内的压力和长时间正常工作，要求精确地确定微小的漏量。 通过检漏预防各类泄漏事故的发生。标准漏孔作为气密性定量检验的校准器，其漏率值的精度 直接影响着被检产品的气密性指标，必须经过精确的校准才能使用。 2、校准原理 我们采取的是“用已知漏率值的参考漏孔相对比较法来校准漏孔(简称相对法)”。校准范 围(10’5～1口10)Pa．m3／s。 它不同于以往的“用一只参考漏孔或一台检漏仪作为标准器，对另一只漏孔进行校准的方 法”。而建立了一套完整的系统，用上级计量机构经过严格检定校准过的一系列参考漏孔作为 标准器和被校的漏孔进行比较，由一系列的技术手段作保障，一切操作都是在标准化状况下进 行的。 利用氦质谱检漏仪孔产生的指示值u与漏孔漏率Q在一定范围内呈现线性关系的特性，使 被校漏孔与参考漏孔对氦质谱检漏仪处于相同状态，若参考漏孔的漏率为Qs，在检漏仪上产生 的输出指示值为us，则在检漏仪上产生的输出指示值为uL的被检漏孔的漏率QL可由公式计 算： 183 吼忙 1+as·△Tsi ’可百■而；】Qs 掣忙 ●一n，●一n 器踹 ·黑．鼍昔舞】Qs(用于通道型漏孔)P2li JV。、厂qJ越坦生调扎／ 。∑目，∑H 1+a1．△Tli 其中： QL肛被检漏孔在标准状态(1旷pa，23℃)下的氮漏率；(P锄弧) n—测量次数； U“—第i次测得的参考标准漏孔产生的输出指示值： ULi—第i次测得的被控漏孔产生的输出指示值： Qs一参考标准漏孔在标准状态下的氢气漏率；(Pa