磁控溅射制备YBCO超导薄膜的AFM的研究.pdfVIP

磁控溅射制备YBCO超导薄膜的AFM研究’ 王小平1，刘援1，王霈文1，冯稷2，李季1，齐善学1，林晨光1， 华志强1，吴拍枚3，杜英磊3 (1．北京有色金属研究总院．北京100088；2中国科学院物理研究所．北京100080； 3．中国科技大学二系-安徽旨肥230026) 摘篓：采用中空柱状阴极直流磁拉溅射装王稍备 薄膜外延生长的一个最常见的模式。用磁控襁射挂 丁YBCO超导薄膜．应用原子力显微镜(AFM)研 和脉冲激光沉积法制备的YBCO薄膜．BiSrCaCuO 究了在最佳工艺条件下，沉积在LaAd0，和Zf(Y)02薄膜中都发现有岛状生长和螺旋结构a随着成膜条 上的再有C轴取向的YBCO趣导薄膜及箕相应村底件．如沉积速率．基片温度和衬底材料、质量的不 的表面彤纯．蛄果表明：生长的YBCO膜都具有较 YBCO 同而各有所异，存在着多种不同的结构[34-a 好的表面蛄构．在LmAIO：,单晶村赢上的YBCO膜 薄膜的结构和质量也受村底表面状况及结构的髟响 形成太熹牲岛状蛄构．飘杜生长整齐：尺寸太小均 与制约．囡此，研究YBCO超导薄膜的表面结构与 匀：生长在单晶Zr(”0，上的YBCO膜刖形成起伏 挂底的关系，将对深入研究YBCO膜的生长机理， 较太的屡状与岛状生长的杂L告蛄构．这些盖剥的产 提高薄膜质量和应用研究具有一定价值· 生与村成的初姑状巩羡．1备过程中腱与种底的辱面 采用AFM馓形貌分析．是因为它有极高的(原 作用有关． 子尺度)的分辨力。在所测量的膜表面高度差中没 文中蛤出了l^A1n单晶村底上外延生长的 有来源于电信号的贡献。所以舱准确给出表面形貌· YBCO超导薄虞和种虑表面的AFM燕片；z州)02 本文应用原子力显徽镜(AFM)研究了沉积在 单晶村底上的YBCO腱和村底表面AFM照片等等． L删q和ZI(Y_)02上的C轴取向的YBCO超导薄嗅 洲量了YB∞超导薄腱表面平整度．分析了形成超 及其相应衬底的表面形貌一在LaAIq单晶村底上的 导薄膜不同表面彤坑的原因．从生长机理角度讨论 YBCO膜形成均匀的大颗粒岛状结构．生长在单晶 丁表面形匏与缺陷和畴的形成机制． ZI(Y)02挝底上的YBCO膜则形成起伏较大的岛状 关键词·超导薄膜；裹面骺艘；磁控蠢射 结构井观察到层状生长。并对其产生的差别的原因 1引言 进行了讨论． 2实验 随着高温超导薄膜生长机理和应用研究的深 入．薄膜性能n，七。m依赖材料的微结构·特别 氧化物高温超导体为多元煮材料t其结构的复 是船强烈的依赖于微锆构．因此．对实际应用来说， 杂性使得YBCO薄膜制备的难度很大·薄膜在生长 对薄膜微结构的控制是一项关键技术·大量的研究 过程中有十几个参数对它的性能产生影响·而其中 结果表明．YBCO薄膜生长模式有三种，岛状生长·