一种置换法气体小流量标准装置地研究.pdfVIP

一种置换法气体小流量标准装置的研究 向德华 周艳 李宁 （湖南省计量检测研究院，长沙 410011 ） 摘要：设计了一种气体流量装置，被测气体流进一个装满水的密闭容器顶部，将水从底部压入高于密闭容器顶 部的标准容器中，通过测量标准容器中水的液位，计算出流进密闭容器顶部气体的压力和体积；测量气体温度，即 可计算出流进气体的质量，从而实现对被测流量计的检定、校准。分析了装置测量不确定度，进行了比对，实验表 明：气体压力和体积测量直观简单，装置测量不确定度可达 0.1% （k=2 ）,重复性可达 0.01%，量程扩展方便，量程 比可达1000：1，甚至更高。 关键词：流量装置；气体流量；不确定度； 0 引言 气体流量计量由于受温度、压力等环境条件 置在气体小流量测量中的应用，试制了一台手动 的影响大，所以很难像水等液体一样进行高精度 3 操作（0.06—1.2 ）m ⁄h 量程的气体小流量测量装 测量，一般来说，气体流量仪表的准确度等级在 置。 0.5 级以下，尤其是对 0.5 级以上气体小流量 1 工作原理 测量有一定难度。 气体小流量标准装置主要有皂膜流量标准 本装置类似P 、V 、T、t 法原理，即在某时 装置、钟罩、PVTt 法气体流量标准装置、m-t 间间隔t 内气体流入特定储水容器的体积为V ， 法质量流量标准装置、活塞法流量标准装置、标 根据容器内气体绝对压力P 和热力学温度 T 准表法气体流量装置和定容式气体微流量标准 变化，求得气体质量。与P 、V 、T、t 装置的区 装置等等。 别在本装置的体积可变，这一点又类似于标准体 皂膜流量标准装置是传统的气体流量测量 积管装置。根据一：储水容器内水的体积减少量 方法之一，机械皂膜测量精度一般低于0.5 级， ＝储水容器内气体体积增加量；根据二：流经被 操作麻烦；电子皂膜可以达到或优于0.5 级。钟 检仪表的气体质量＝储水容器的气体质量增加 罩主要用于膜式燃气表、玻璃转子流量计和湿式 量。因此，可以通过测量储水容器排出水的体积、 气体流量计的检定，用于微小流量测量时精度一 进入储水容器的气体温度以及其气体压力来计 般低于0.2 级，重复性较差，易受环境影响。PVTt 算被检表的质量流量。 法气体流量标准装置是我国最高气体流量标准， 2 装置平面布置示意图 但是 0.1m3/h 以下测量有困难，投资大。m-t 法 质量流量标准装置一般用于气体大流量的测量， 如图1 所示，装置由气源系统、调压稳压阀、 投资巨大，不适用于测量微小流量。活塞法流量 质量流量控制器、夹表台、储水容器、液位测量 标准装置是国内外气体小流量测量研究的热点， 装置和标准量器组构成。一个特点是标准量器底 有主动活塞和被动活塞二种方法，小流量活塞法 部高于储水容器，另一个特点是同一液位传感器 测量扩展不确定度一般为0.2% （k=2 ）左右，中 可以测量若干个标准量器的液位，所以装置的量 大流量可达0.05% （k=2 ），但加工精度要求很高， 程特别宽。 投资大。定容式气体微流量标准装置一般用于真 3 计算公式及不确定度分析 空漏孔的校准，真空漏孔是卫星、火箭、飞船、 3.1 计算公式 集成电路和计算机芯片生产设备等有密封性要