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中国科协第五届青年学术年会陕西卫星会议论文集 新材料与先进制造技术
热蒸发法制备准一维纳米线材的研究 的真空泵进行抽气可获得;环境压力的大小通过控制进气
流量和调节针阀来维持j刚玉管内各点的温度通过管子左
刘建刚,张克良,于灵敏 端的热电偶可进行测量.
2准一维纳米线材的制备
(西安工业学院材料与化工学院,西安710032)
2.1 SiNWs的制备
摘要: 简述了热蒸发法制备硅纳米线、氧化锌纳米线及
硅作为一种重要的半导体材料,在电子设备制造及线
硫化镉纳米带和微米晶须的方法.借助扫描电子显微镜
路连接方面具有重要的应用价值,因此,SiNWs成为人们研
(SEM),x射线能谱分析仪(EDX)和透射电子显微镜
究得最为广泛的一种材料,如zhang等’lll通过直接热蒸
(TEM)对生成产物的的形貌、化学成分及晶体结构进行了
发SiO粉的方法,成功地合成出了SiNWs.使用金属元素作
分析.研究表明.铜对硅纳米线的生长起催化作用;高的氧
为催化剂制备SiNWs,前人已进行了相当深人的研究,如香
气偏压有利于生成蒲公英花状和四角锥状氧化锌纳米线的
港城市大学的李述汤教授领导的小组¨2J以Si粉与金属催
生成;外加电场促使硫化镉纳米带和微米晶须沿一维方向
生长.
蒸发源,采用热蒸发法成功地制备出了超长、直径均匀且高
关键词:硅纳米线;氧化锌纳米线;硫化镉纳米带;微米晶
产量的SiNWs;Fan等【13]通过电子柬蒸发和平板印刷术的
须;外加电场
方法在硅衬底上制作出5nm厚的铁孤岛膜,以此作为村
底,利用热蒸发法合成出了SiNws.
自1991年日本NEC公司的饭岛(1ijima)等…发现碳
可以看出,催化法进行siNws的合成,主要是通过在
纳米管以来,准一维纳米材料因其奇特的光、电、磁等性能
原料中加入催化剂,或者在衬底表面渡上一层催化剂的方
引起了凝聚态物理界、化学界及材料科学界科学家们的极
法来进行.本工作发现以硅晶片作为接受衬底,采用直接蒸
大关注.而成为当今纳米材料研究领域的前沿.它可被用来
发铜粉的方法,可制备出SINws.利用场发射扫描电镜(FE
制作扫描隧道显微镜(STM)的针尖、纳米器件和超大集成
—SEM)对生成产物进行分析,发现在高温沉积区.硅纳米
电路(ULSIC)中的连线、光导纤维、微电子学方面的微型钻
线高度弯曲且相互缠绕(图2(a)),纳米线直径约6~26
头以及复合材料的增强剂等【2】,在介观领域和纳米器件研
nm,长约10~30ptm,且在纳米线上粘结有一些白色的小
制方面有着重要的应用前景.
球;在低温沉积区,超直、且高度定向生长的纳米线,沿衬底
准一维纳米线材的制备方法主要有模板
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