热蒸发法制备准一维纳米线材地研究.pdfVIP

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中国科协第五届青年学术年会陕西卫星会议论文集 新材料与先进制造技术 热蒸发法制备准一维纳米线材的研究 的真空泵进行抽气可获得;环境压力的大小通过控制进气 流量和调节针阀来维持j刚玉管内各点的温度通过管子左 刘建刚,张克良,于灵敏 端的热电偶可进行测量. 2准一维纳米线材的制备 (西安工业学院材料与化工学院,西安710032) 2.1 SiNWs的制备 摘要: 简述了热蒸发法制备硅纳米线、氧化锌纳米线及 硅作为一种重要的半导体材料,在电子设备制造及线 硫化镉纳米带和微米晶须的方法.借助扫描电子显微镜 路连接方面具有重要的应用价值,因此,SiNWs成为人们研 (SEM),x射线能谱分析仪(EDX)和透射电子显微镜 究得最为广泛的一种材料,如zhang等’lll通过直接热蒸 (TEM)对生成产物的的形貌、化学成分及晶体结构进行了 发SiO粉的方法,成功地合成出了SiNWs.使用金属元素作 分析.研究表明.铜对硅纳米线的生长起催化作用;高的氧 为催化剂制备SiNWs,前人已进行了相当深人的研究,如香 气偏压有利于生成蒲公英花状和四角锥状氧化锌纳米线的 港城市大学的李述汤教授领导的小组¨2J以Si粉与金属催 生成;外加电场促使硫化镉纳米带和微米晶须沿一维方向 生长. 蒸发源,采用热蒸发法成功地制备出了超长、直径均匀且高 关键词:硅纳米线;氧化锌纳米线;硫化镉纳米带;微米晶 产量的SiNWs;Fan等【13]通过电子柬蒸发和平板印刷术的 须;外加电场 方法在硅衬底上制作出5nm厚的铁孤岛膜,以此作为村 底,利用热蒸发法合成出了SiNws. 自1991年日本NEC公司的饭岛(1ijima)等…发现碳 可以看出,催化法进行siNws的合成,主要是通过在 纳米管以来,准一维纳米材料因其奇特的光、电、磁等性能 原料中加入催化剂,或者在衬底表面渡上一层催化剂的方 引起了凝聚态物理界、化学界及材料科学界科学家们的极 法来进行.本工作发现以硅晶片作为接受衬底,采用直接蒸 大关注.而成为当今纳米材料研究领域的前沿.它可被用来 发铜粉的方法,可制备出SINws.利用场发射扫描电镜(FE 制作扫描隧道显微镜(STM)的针尖、纳米器件和超大集成 —SEM)对生成产物进行分析,发现在高温沉积区.硅纳米 电路(ULSIC)中的连线、光导纤维、微电子学方面的微型钻 线高度弯曲且相互缠绕(图2(a)),纳米线直径约6~26 头以及复合材料的增强剂等【2】,在介观领域和纳米器件研 nm,长约10~30ptm,且在纳米线上粘结有一些白色的小 制方面有着重要的应用前景. 球;在低温沉积区,超直、且高度定向生长的纳米线,沿衬底 准一维纳米线材的制备方法主要有模板

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