全自动金丝球焊机X-Y工作台误差分析.pdfVIP

下载本文档

11
0
约1.84万字
约 5页
2017-08-16 发布于安徽
举报
版权申诉

全自动金丝球焊机X-Y工作台误差分析.pdf

1、本文档共5页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第卷增刊光学精密工程 ! ! ! 5267!89 7 ! ’’ ! !!!!!!! ()*+,-./01*)+)2-3- )-110)- ! !!!!!!! 年月 ! ’ 4 4 #$$% !! :2;7#$$% ! ! ! ! 文章编号 ! 增 !$$?#?@ #$$% $!?^$% ! 全自动金丝球焊机+,- 工作台的误差分析董吉洪!徐宏 ! 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!吉林长春 # !$$ 摘要!全自动金丝球焊机是微电子封装设备中的核心设备#它是集精密机械$自动控制$图像识别$计算机应用$光学$超声波焊接等多领域于一体的现代高技术微电子生产设备%工作原理是通过 EDZ 高精度工作台和焊头的三维运动控制# 采用超声波压焊方法#牵引直径只有 #$ %$ A 的金丝#实现从芯片表面焊点到引脚框架的电气联接%EDZ 工作台要求 ! 实现精度达 % A#以便保证各焊点的精确位置%文章针对工作台的高精度要求#通过对其结构的具体分析#系统并详尽 ! 地对所设计的二维工作台的各种误差源进行了分析计算#得出了二维工作台定位精度的工程计算公式#同时介绍了二维工作台定位精度的测量方法#对理论结果与实测结果进行了分析比较#验证了误差分析结果的正确性#为高精度二维工作台的设计提供参考% 关键词!微电子封装设备!全自动金丝球焊机!工作台!误差分析 ! ! 中图分类号! 文献标识码! BF? D ! ! R%%(%$)$+#,#()*’+,- *$6+,)$@*(.$*, (+03,%6()0% 8 - # [:F Q)L2- @J C2- 4 4 ! # # .+$0 *+001’/’’(, = ’/*1 ?/0(@(*+$0/*1$0%A+ 1/*1 8 5 4 # # .+/0(1(2*$%(3 , )*/(0*(1 .+$0 *+0!$$ .+/0$ 4 5 8 56#*%$* G966 ,9(2A,()* 26.M)01S2-.10)+(L1*2012T(L119