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372 压电与声光 2001年增刊
文章编号：1004·2474(2001)S0-0372-03
R相变驱动的TiNi／Si复合泵膜的研究
程秀兰，陈鉴，徐东，蔡炳初，丁桂甫，王莉
(上海变通大学徽纳米科学技木研究．上海200030)
摘要：TiNi形状记忆合金薄睫微驱动嚣是微机电系统(MEMS)中研究应用的一个重要方向．对于富Ti薄膜，由
于其R相变的热滞极小，有助于改善驱动膜的频响特性．本文采用常规微细加工的方法制备了这种具有R相变的
TiNi／si复合泵膜，井对其工作特性进行了测试．研究表明：TiNi薄膜的R相变可以作为微驱动器的驱动泺，并可
实现较高频率的驱动(166Hz)；另外，加热电流和驱动频率对泵膜的驱动性能均有显著影响。
关键词：微机电系统；泵膜；形状记忆合金；薄膜；微泵
7I+．4
中图分类号：TN2 文献标识码：A
x
onTiNi／Si Membrane
AetuatedR
Study Composite by
CHENG Li
Xiu-lan，CHEN
Jian，XUDong，CAIBin-chu，DINGGui-Fu，WANG
Shahghai
(InformationStorageResearchCemeLJiaoTongUniversity,Shanghai200030，China)
Abstract：Themicroactuatoractuated filmsis
TiNi thin an ofMEMSThe
by shapememory importantpart frequency
film
charateristicofTi-richTiNithin actuatedRtransformationcouldbeen the R
between
by hysteresis
improved，since
reverseR
transformationand transformationis small．Inthis membrane
very actuatedR
paper,TiNi／Sicomposite by
transformationis withmicro it’S istestedalso．TheresultsshowthatR
fabrication，and
prepared workingperformance
transformationofTiNithinfilmcouldbeen to with as166
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