Ti6A14V合金等离子体基离子注氧层XPS的研究.pdfVIP

第蠢届全国袭蕊工程学术会议论文熊 Ti6A14V合金等离子体基离子注氧层XPS研究 牵金龙’孙明仁马欣新 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院 哈尔演 150001 的工艺参数，负脉冲偏压分别为-10kV和-20kV。离予注入过程中样品台通油冷却以宴现低温注入。用XPS对离子注氧 菇熟深度、成分及纯擎绩搦避嚣了系统鳃势糖。缝暴鬣暴，建誉淀入离子耱曩瓣罐热，Ti6A14V会佥表翥羧鞋瑟鹩嚣囊 明显增加，改性屡的外层由一定厚度的ⅥO：组成．外层与内层基体之间为瓢仇层．AI元素在教性层的外雇以氧化物璐 式存在，且该氧化物趋于表面生长。在表面改性层的外层束发现v及其氧化物。 燕键词：等离子体基离子注入XPS分析伍学态 等离子体基离子注入装置上宠袋，真空室足寸菇 萼l言 700ramX700ramx 1000ram，氧气纯度为99．99％。 样品用丙酮介质超声波清洗蔚放入真镦室，氧离 众所周知，Ti6A14V合金因其具有优良的生 貔稳容性、蕤|襄瀑、覆|镪蠖辘，瑟广泛痤罨予簸 子注入之翦，试样表瓣经过At+溅射涛浚lO努镑。 窝航天及生物医学镩领域，但其耐磨性差、而且 试样编号和注入的工艺参数觅表1。采用容式耦含 作为生物医学材料Al、v元素存在潜在的细胞毒射频辉光放电激发等离予体，样晶台转动并通油 糕簿蓬0,21，嚣照辩其迸芎亍袭露改缝簸理是十努磐冷鞠； ESCA分析系统上进杼。 鞭的。目前，对生物医学用Ti6A14V合金进行表XPS分析在PHl5700 颟改性方法有，为改善生物相窖性用等离子喷涂， 分析器鲍功函数用纯锻试样校猴，A移dst2蜂位予 电泳沉税，溅射等方法在材料表面涂镀一层嫩物 368．25eV。采用宽狡扫描分析寝萄成分，通道能为 187，85 oV。测定表蕊及不同剥 陶瓷涂层，羟基磷灰石(I-IA)是首选涂层材料IjI。 eV，步长为O．800 为提裹耐瘸性在其褒嚣溅瓣淀积类金Ⅸ《嚣(DLC) 过能为29．35eV。深度成分分析采用4kV氩离予 膜和TiN膜li-4l。还有通过徽弧氧化和电泳沉积形 枪剥蚀，剥蚀面积4mm×4ram，电流密度约 成HA／ri02的双层多功能膜pJ。以上涂层技术弼以 据高耪辩豹穗癌毪，改善萁生镪性鞠容性，键涂 弼幽庇毋，分析与瓣缓=交警遴舒。 层与基体的结合力问题一戡末能很好解决。PBll 袭1等离子体基离子注入工艺参数 避最近十几年发滕起来的～神表面改性技术，是 一种非褪线趣工技术，可戳处理形状较复杂的零 件，且离子注入改性层不存在界面结合力的问题 16l。翅O-PBII技术对T16A14V合金遴行表瑟教蛙 处理目前图内外报道主要集中在离予注入剂爨， 氧分压及离子注入温度对改性层成分缩构及生物 援容洼戆嚣璃∞l，关予离子注入能蘩对竣牲滚成 分结构的影响很少见报道。 本文用O-PBII对Ti6A14V合金进行表面改性 2结暴与讨论 处理，试黢过程中淑交离子注入能量。蘑XPS对 2。1 离子注氧层深度分析 离子注氧层的成分和化学结构进行了系统的分 辨。 瓢、O鼹种元素舱XPS深度分析鼹线如隧l 新示。来照理豹1母样舔表褥自然氧化层厚度约 1试验 为20nm，离子注入的2、3样品改