一种抗大过载微型加速度计的研究.pdfVIP

一种抗大过载微型加速度计研究 曾昭君!石进杰 北京大学微电子研究所!北京 # !%%’! 摘要!讨论了一种抗大过载 #的微型加速度计!主要内容包括$阐述加速度计的工作原理% !S%%%% 设计一种新型十字梁的器件结构!并对这种结构进行抗大过载的冲击实验!以验证这种新型的结构 对于大过载冲击的可靠性%进而利用A?\E\对器件进行模态分析!找出结构上应变最大的位置! 并对结构尺寸进行优化%提供一种可能的电路版图说明!并对加速度计的灵敏性进行理论分析% 最后提供一种可行的加工工艺方法 关键词!加速度计% %大过载% L(L\ A?\E\ 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # $ % ?#%=$! @=$= A !B’!)=’’B %%# %’%) # # %!)%# 1 )%;*, *%$*//-;*’##*,*$%*-*$4-(((’##7$’# ’)+%;*$,%’+’.,- 0 9 3 3 ! G(?H G;+9)C47 \@DC,7)C,1 ! ! ! # #$%%’%() +,-)(.(,%-)#,$ /(0# 2#3(-$% 5(# !%%’! 78#9 * 1 4 6 1 $ 1./-$’#- T1K,7+75K,*4-+P,979M+79N1-+661-1O9*1P1OK17K9OR,P;;,;+664O+6 +759N1O-9+5 . ! ! +/,-,P R;,6;6+74751O9!S%%%% +661-1O+P,97+O1 O1K17P15$A75,PK O,76,-1,K18 -+,715 +75 . 2 2 2 2 ! ! +71R 6O9KKKPO46P4O1,K51K,715$APP;1K+*1P,*1 P;1,* +6P18 1O,*17P;+K/1175971 +75 2 2 P;1O1-,+/,-,P P1KPK;+N1+-K9/1176+OO,1594P$]1+-K99 P,*,:15,PKKPO46P4O1P;O94 ;*95+-+) . 2 ! 7+-K,K/ 4K,7 9MA?\E\$AP-+KP P;