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颗粒硅带为衬底的多晶硅薄膜太阳 电池研究的发展前景 沈 辉 任 山 中国科学院广州能源研究所 中山大学理工学院 摘要本文对颗粒硅带为衬底的多晶硅薄膜太阳电池的研究进展进行了评述。通 过从材料、工艺、性能和经济等多方面分析，指出这种高性能价格比太阳电池具 有很好的发展前景。随着制备工艺的进一步优化，颗粒硅带多晶硅薄膜太阳电池 的研究开发，将是大幅度降低太阳电池成本的一条可能的新途径。 关键词颗粒硅带 多晶硅薄膜太阳电池快热化学气相沉积 1前言 在可再生能源中，基于光伏效应的太阳电池发电技术占据着一个极其重要的地位。太 阳电池在太阳能利用中是最具有发展潜力的研究课题之一[1--3]。从国际发展趋势看，太 阳电池的研究和开发的经费在可再生资源中占据首位。随着世界经济的快速发展，能源和 环境问题日益严重。为改变人类社会的能源结构和改善生活环境，急需加强高性能价格比 的新型太阳电池的研究和开发。 太阳电池的发展一直面临的主要问题，一是提高光电转换效率；二是降低生产成本。 从目前的发展状况来看，最主要的是要寻找一条降低太阳电池成本的技术途径。从工艺、 转换效率、稳定性及资源等方面综合考虑，硅材料电池最具发展前景。从目前发展状况来 看，单晶硅太阳电池具有最高的转换效率，但由于其生产成本高，价格昂贵，在推广应用 上受到一定的限制。目前占据主导市场的熔铸多晶硅太阳电池在一定程度上降低了生产成 本，但也像单晶硅电池一样存在大量切片损失，并不可能大幅度降低太阳电池生产成本。 非晶硅薄膜电池虽在成本上有明显的优势，但光疲劳效应严重地制约了其发展空间。研究 表明，多晶硅薄膜电池的光电转换效率可接近单晶硅电池，还具有光电性能稳定的特点， 并有可能在廉价衬底材料上制备。可大幅度降低生产成本，适合于大面积规模生产。多晶 硅薄膜电池已经成为太阳电池的一个倍受关注的研究热点【6~16I。 为了获得低价的多晶硅薄膜电池，必须解决两个基本问题：一是涉及廉价衬底的材料 的选择和简单且便于工业化的制备工艺；二是适宜的多晶硅薄膜高速沉积方法[4--5]。本 文主要介绍以颗粒硅带为衬底的多晶硅薄膜太阳电池研究背景和最新进展，对颗粒硅带和 123 多晶硅薄膜的制备工艺以及电池的几种结构形式进行了分析讨论，并对颗粒硅带多晶硅薄 膜太阳电池的研究开发前景作了探讨。 2颗粒硅带为衬底的多晶硅薄膜电池的研究背景 为了降低太阳电池制作成本，人们在光伏材料领域一直没有间断探索新原理、新工艺 和新材料。多年来人们按器件的薄膜化思路探索新材料及新工艺，如通过努力人们先后研 能稳定性等方面仍然存在一定问题。瑞士科学家发明的纳米TiQ染料敏化太阳电池是在 新材料、新原理探索方面取得的一个极为可喜的进步，但由于还存在敏化剂稳定性和电解 液的密封等问题，离实际应用还有一段距离。美国一厂家已经推出了少量的商品化薄膜硅 电池，尽管其制备工艺至今没有公布，但从其销售情况来看，这类电池至今还没能实现明 显的低成本和大规模生产。 单晶硅、多晶硅电池的硅材料约占电池生产成本的40％左右，这主要是因为除了单 晶硅、多晶硅材料的制备过程复杂外，特别是在后续的加工制作过程中还不可避免地存在 大量的硅片切割损失(30％--50％)。为了降低硅电池的成本，迫使人们去发展片状或带 状硅的制备工艺，为此，许多科学家进行了多种技术尝试。一直致力于太阳电池研究的德 国费莱堡太阳能系统研究所在新型多晶硅薄膜电池的探索上作了长期不懈的努力。从10 最初的加热装置极为简单，即将硅粉装进具有涂层的石墨加热舟中。通过加热将硅粉熔化 形成多晶硅片材料。 硅薄膜的制备工艺主要分有高温与低温工艺过程。高温工艺的优点是，适合生长晶体 薄膜，可高速生长，但对衬底材料要求较高，一般是选用硅或陶瓷材料。低温工艺对衬底 材料要求低，可用玻璃、金属甚至塑料等，但沉积的一般为非晶硅薄膜。从薄膜生长条件 来看，衬底材料热膨胀系数要与硅接近。因此，陶瓷、玻璃、金属等作为衬底材料都存在 上属问题。无可置疑，同质衬底——多晶硅片是最适合的衬底材料，并符合低成本的要 求。通过多年的探索，德国夫朗霍费太阳能系统研究所开辟了一条比较好的途径，即以颗 粒硅带为外