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利用 HFCVD 简易装置制备纳米金刚石薄膜研究 方静华 项金钟 信思树 朱艳 杨海刚 吴兴惠 云南大学 材料科学与工程系 云南 昆明 650091 摘要 纳米金刚石薄膜具有金刚石薄膜和纳米材料的双重特性 其应用前景广阔 本论文通过 改装得到一套适用于 HFCVD 的简易制膜设备 制备出了纳米金刚石薄膜 并对影响薄膜生长 的压强 衬底温度 沉积时间进行了讨论 关键词 纳米金刚石薄膜 纳米材料 HFCVD 1 前言 其处理分两个步骤 第一 将灯丝制成 螺旋形 有利于减小灯丝的形变 第二 在 纳米金刚石薄膜具有金刚石与纳米结构 正式实验之前 先使灯丝在浓碳源气体中高 的双重特性 引起了国内外广大科技工作者 温加热 生成一层 WC