12吋半導體廠節能方案研究.pdfVIP

第九届海峡两岸制冷空调技术交流会论文集 12时半鲁髅廒筋能方案研究 fora12-inchSemiconductorFab EnergySaving 林照阴1骼文傈2吴友烈3余光正3 (1圜立勤益科技大晕冷凛空拥舆能源所硕士班研究生；2圜立勤益科技大孥冷凛空胡舆能源系教授； 3圜立勤益科技大晕冷凛空辋舆能源系助理教授) 摘要近年柬半尊髓晶圆廒随著新世代裂程技衍演燮，虚品由8时晶圆演燮成12时晶圆，生崖廒房面稹也越柬越大， 相封生虚廒房耗能也提高。半尊髓廒耗能除了裂程毅借外，廒耪系统则占了大半的能源消耗。廒耪系统包含了冰水系 毓、外氟供虑系统、循瑕空氟系毓、排氟虎理系统、真空系统、裂程冷御水系统、超纯水系统、壁缩空氟系统等。在 园陈能源日渐短缺，能源黄用日超高潦，筒能方案推勤蔫高耗能半撙髓廒不可或缺的项目。故本研究以一座12时半尊 髓廒漯浮空调系统舆廒耪毅施造行钸能案例研究，钸能方案耦案例l有横物虎理系统揉用直燃式舆蓄熟回收式瓦斯耗 能比较、案例2冷御水塔用高低速逗耱舆燮频器能源消耗比较、案例3燕麈室低真空系统探用PhoneCall控制PuMP起 停、案例4燕麈室外氟空调箱探用Run 2每年可钸省2，398。913元、案例3每年可筇省317，004元、案例4每年可钸省1，738，758元。 room) 关键词宦if能(Energy—Savings)；高科技(HighTechnology)；廒旃系统(FacilitySystem)；漯浮室(Clean l刖昌 降低生虚逞蒋成本，已成鹅半尊髓桨界所共同探封 的裸题。故本研究针封12时半尊髓晶圆廒廒磅系统 随著科技棠的骚展，台湾捷有三大科孕工檠 铈能案例研究，利用A、B、C三座12时晶圆廒之 圜匾，舆全世界高密度的12时半尊髓廒。高科技麈 廒耪系统造行案例比鞍，蓝犟出四佃筋能案例造行 檠是目前台湾缝漓主轴之一，台湾高科技崖桨又以 封输舆建菇。 政府推勤f雨兆蔓星针壹J之半孽髓晶圆裂造舆光 鼋廑棠羯主，蓝带勤晶圆後段封装测弑舆光鼋周递 2 12时半尊髅廒茚能案例研究 虚品裂造等虚粱。高科技虚柒能源需求量相富大， 2．1有横物虞理系统(VOC)揉用直燃式 也是台湾主要的鼋能用户【1】。 半尊髓晶圆廒雕然是高科技廑棠，但它卸不 (To)舆蓄熟回收式(RTO)瓦斯耗能比较 挥骚性有楼物(Volatile 是省能工桨，事寅上半尊髓晶圆Jl蔽是一佃相富耗 OrganicCompounds， 能的虚棠。由於晶圆裂造舆光鼋工桨附加便值相省 VOC)：保指有横化合物成份之德稻，VOC系统之 高，能源消耗黄用占整髓生麈成本比例相喾低，造 赓氟虎理流程主要分捣雨大部份。 成公司政策往往稳虚能至上、工程造度稳重的觐 吸附渡缩：直接将生虚缘所排出之有横溶剂 念，加上科单工柴圜匾有高可靠度的供鼋品黉，所 氯髓，利用高孔隙率、高比表面稹之吸附剂，藉 以都忽略掉钸约能源。 由物理性吸附(可逆反虑)或化孕性键结(不可逆反 然而半尊髓麈品彀针缘径越柬越小，晶圆髓 虑)，将VOCs氟醴分子自鹰氯中分雕作用，缝沸石 横越束越大，敷造遇程{!复雅度也提高。裂程精密度 吸附槽吸附後排出乾浮空氟。 的提高，封整髓生麈瑕境舆廒耪需求如裂程毅侑鼋 氧化燃烧：将吸附槽中吸附鲍和之高灌度有 力、漯泽室、裂程