高分子电容式湿度变送器的研究.pdfVIP

第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月 #( ( #- 9 高分子电容式湿度变送器研究! # 谢光忠 黄春华 蒋亚东 杨邦朝 电子科技大学光电信息学院 成都 # 电子科技大学微电子与固体电子学院 成都 $ %’() $ %’() 摘要 论述了高分子电容式湿度变送器的制作过程 该变送器由旋涂法制备的聚酰亚胺湿度传感器和以脉冲宽度调节电路为 * 主的变送电路组成 文中对制备的高分子湿度传感器和变送器的湿敏特性进行了测试 结果表明 制备出的高分子湿度变送器 * * + 对 ’,-./ 0-,(.12 范围内的相对湿度进行线性变换输出与相对应的电压信号* 关键词 湿 度 变送器 旋涂法 电 容 聚酰亚胺 ;:=?47@6A68BC6D84EF?BGBCH76D5GF8475 # IJKLMNOPQRSOP 2MNOPTRMORMN UJNOPVNWSOP VNOPXNOPYRNS Z $ e + [\]^^_^‘abcd\f_f\cgd\h_ij‘^gkhcd^j ljdmfgndco^‘p_f\cg^jd\[\dfj\fq + wZxxyz+ ) rf\]j^_^so^‘t]djh t]fjsuv t]djh { $ e + [\]^^_^‘|d\g^f_f\cg^jd\nhju[^_dunchcfp_f\cg^jd\n ljdmfgndco^‘p_f\cg^jd\[\dfj\fq + wZxxyz+ ) rf\]j^_^so^‘t]djh t]fjsuv t]djh }~5C768C !RJ#N#K$WKY$J%KN#S’(K$YN#NYJ)J*KRM(JWJ)’ )$NOWMYK$KOS$+J)R )$NO,S$( YJ$YMJ))S , NYRJK*KNK,,KY)J*KSM)JSO,S$NYYM$N)KNOW$KJN%KRM(JWJ)’(KNM$K(KO) !RKKOJOP#$JOYJ#KS,)RKKOS$ e - , J)RKWJKKY)$JYYSO)NO)YRNOPKS,#J