新型Spindt阴极阵列磁敏感器地研究.pdfVIP

新型Spindt阴极阵列磁敏传感器的研究 邛宁 朱长纯 西专受：歪7学电7；学皖真宅做串；于j*Z研 摘要： 1i峰。取嚣术％ 苯Z证十_广一扣检删-L维砚场紫甍中嗷电子啦锇’÷骢器 Spindt胡k阵刮仁为电于源，阳极丹为f{、，乏域．以夏赴．F《簟射玎了t，t啦J两f： 甲]、扣，宅倦?瞳连，下F明掀赳要下电子柬流晌7毫}}量{々手它．Ⅵ_：土嚣r-珥i。i J f《抑汁葬．乒‘：耳≮J+÷二 使莺越场j‘!jj、舒童．纠‘；零嚣的灵敏，要苄¨误差：=ff 们与，：卧＆电匝、习一阳极耳距及j日捉电乐变化步壬弦兰系 墨果最明l一垮拳譬 构灵敏度约为800％，词对误差为30证 关键词： 轰空礅电子 Spindt|H极磁敏‘÷蓥嚣 1．引言： 由于真空微电子嚣忙具有抗辐射，工怍温度范宦吏，带J作工艺弓兰寻?# 工艺蕞枣等优点，在传感嚣领域古育重要拘地位．鼍于真守儆电于抟磋敏。专 惑器甲电子的运动不受晶悔散射的影响．玉菽得很高的违亳，莲磁场下茸五 天鲍偏移．从面具有较高的灵敏废千口精度，蛋此，近年来，国内々}的学者纠裹 空微电子磁敏傣感器逛仔了一壁研’，Z『l‘0I．但U佳尊睫敏jj3嚣}。々盘：～、 r二垂皇丁申j’ 共同的i裁：对吹删磁场妒々r#育一芷·p要曩，邛‘j静}一：叫1j 初始运甜_号甸拘磁场，通芾．丁妻宁馓电于觇敏峰謦嚣帮一’甲 本文键斗)7《 平Spmdt碉极阵别怍电子源，阳极分为毫个星域的搿型!{掏joj荑空微电于啦 皱传枣嚣，通j二改变阳极电压，得到电子左不fKi；1j压下；J过’汨极的螭移莹乏 差．实现丁列三维磁场的俭倒． 2．原理： 2．1器件结构与制作工艺： l矗?々枣器的缝构如图1新示、 丑啦 Ia传惑嚣断面示意巨 lb硐扳努X示意匿 陶1 f．专感器终构亍意降 l 63 4j=jJ_|掇j!埔l作【芝I—j ’E苍话j：j引陬阵列采腰Spindt ‘÷憨帮彗：}敝分为芒，＼i饕，基t：t·”杯分弗j?止冬：：日}电流筘比 售j。确芷也于{i在磁场i、晌信够莹0墨为无醺嵫作中Fj电子索引达阳 II2’E5fI强；jr对刖t《{i汽Il：售1。j8jlt’ 驹板勺琴iq：村料：百≯二，毫本(1重晶硅}中乇Nl()，绝嚏J毫，然‘i 在Si02崖ki；积彩最凳阳极在章筝、砖背面}7：硅∥l岂i：耍，最fd／,2积 金匡：怍为善X¨l区域的jI．L爿， 2．2』=作原群的数学描述： ， ：娶罕微电丁迸敏传惑§Sfa删磁场抟基本嘌理酃鬯七巾阳极电流的比1直 得到中J于生融、匀怍嘎下到达阳板的。岛移量．再出毫侈善承‘￡器忙两每位 置妒磁场：证!基从理论上：托d：电子束的馈移‘坚柄、(x．y)只矩得引关于磁 场哥，两个巧程．无法式士磁场的三个分量Bx、m’、Bz，这王是以茳磁 敏，≤惠嚣要求顿删磁场，0r．垂互于电f{=))始运动jF鹭啜玉．． J．J、翟弦唯一盐凭度考毫，每一足掣：阳极电匿F．可以有无穷多个磁场 埂得电子在其1t?庠下到达阳极豹谝移璧相同，即对同一偏杉量(‰v0)可阻 得到无匀多解．但萁甲E有一1、磁场‘吏得电子到造阳极所l罚的时E等于 实阿趱场掣电f：到达闭极的盱r可b，这个磁场E是啦一王确的鹪。事实 上，在～定阳l电压下，可由cxn．vn．10j得到关于磁场二个分置豹与俘坦， 该力莲疆有难嘈}；但是对于实际磁场检测豹过挥来浇．h是1冠法测出 的