静电致动硅微继电器探究.pdfVIP

2000年第14卷专刊 华北工学院舅试技术学报 Vol JoUNAL0FTESTANDMEASUREMENTTECHNoLoGYoFNCIT 静电致动硅微继电器研究 李永}[棒君君董海峰张文栋 f1#JEr学院山两太原030051j 1岂潍Lf 摘要l奉文介绍r种早卜旺Ms拙求．采用静I乜致动棘理．通过多品时表血微机械加1 加T的硅微继电器：殳中址给…J’H忡改计结构、加丁T艺、技术参数等。 关t词，微机械：辟微{主术：群tU器 1．引言 继电器、模拟升天铍J_泛地府州丁符种电气控制系统。常规的继电器贝有导逋lUm小 l (O MC6；l 时间长(lms)、绡丰勾姨配复杂、可靠性较低等缺J』i；lnJf《拟片走臌粟JH Z，’E：儿 7r体税小、响府时间短(】u l岂、u，糍一r}高≈优 s)、使IL}j寿命K(i次)、采lH微I也f加l ，‘，但义有导通电阻人(10 Q)、切断阻抗低((10“n)、抗也冲^r惟能低锋缺cj、h随霸|， 导体微细加L‘技术的成熟，微电子机械系统(MEⅥs)技术的一个，使改计l|【1i．兼山常姚蛳·b 器与MOS模拟开关的共有优点．而义克服它俐各白缺点的新掣i#微继电器能够#}以实现。 硅微继电器的研究主要解决结构设计与仿真技术，加I与装配技术，致动技术等。州 微继电器的研制将对我国航天、航空，微卫星、武器控制以及各种}tJ}J领域具订亘婴意义 2．微继电器工作原理 该微继电器采用静电致动原理，如图2．】所示。上下两十盟板n日施njlUh、…j-’l行【i 场，两板之间的中心电极受静电力作用而发生偏转，从而引起电极端的锄头．Illl．棒r啦 扳的继电器触点接通。 图2．1 根据给定电压的平行板电容器的能量(忽略边缘效应) 奉项日受山西省自然科学堆金资助，项目号：971036 牟项日受国家杰出青年科学基金资助．项目号 ’收稿日期。2000-03—23 760 华北工学院测试技术学报 2000年6月 矿：一!cr：：一三兰丝竺 2 2 X 则极扳间的作用力为： 烈 2爿‘ F：坐：三一eoAV2 其中v是两极板间的压差，A为两极板的正对面积。因此，上电极板与中心电极板间的力为 E=；等 F电极板与中心电极板间的力为 E=}掣 雌臂粱c枇㈣所受的静电力F=F嵋即F=型2[I竖d一与竽】12 其中A为悬臂粱(即中心电极板)的面积； 。 d．为悬臂梁与上电极板间的间距： d。为悬臂梁与下电极板间的间距； e。为介电常数。 并且在受环境力作用时，通过控制电压，可以控制静电力F，使之足够大．从而使得微继电 器的闭台与断开可以人为地控制，不受环境力的影响，从而达到抗冲击的目的。 3总体设计 图3．1 !!竺±!旦 鳖里塾垫壁丝壁皇墨竺塞 ．!!! 本项研究结合国内现有的加工工艺手段，采用图3．1所示的结构设计方案。该微系统 由预先淀积上薄膜电极板的盖板(玻璃)与经过表面工艺加工处理的硅晶片键台而成。在耻 晶片上加工有底电极、悬臂梁(中心电极)、固定触点等。 该硅微继电器的工作机理是：当该系统工作时，在上下电极板咀及悬臂粱之间加以筚 分电压，通过静电力驱动悬臂粱使