近场挑学中样品和探针相互作用的研究.pdfVIP

Electr．Microsc．Soe 电子显微学报J．Chin 182 1999年 18(Supp)：182～183 近场光学中样品与探针相互作用的研究 周 庆1 朱 星1 李宏福3许世发2周赫田2 戴 宏1 陈尔纲1 90871) (1云南大学物理系，昆明650091；2北京大学物理系，北京1 (3电子科技大学高能电子所，成都610054) 近场光学显微镜是新近发展起来的新型高分辨率显微镜，由于它不受衍射的限制，可以对在 样品中纳米尺度的区域的各种光学信息进行成像，并且可以实现超高密度的光学信息存储，已引 起广泛注意，庄生命科学，化学，材料科学及信息产业将有重要应用。 从显微学的角度出发，希望能从探测到的近场光信号中了解被测样品的结构，形貌及材料特 性。然而，近场光学的成像过程是非常复杂的。因此要完整描述近场成像的过程是很困难的，它涉 及到样品的几何尺寸及光学常数、成像时所用的扫描方式、样品与探针之间的距离、探针的形状 及材料、以及入射光的偏振特性等。首先，当光与物质相互作用时，样品表面的近场分布对样品的 光学性质如几何结构，折射吸收等是很敏感的，而近场光学的测量方法就是要非常靠近样品，这 样就对原来样品表面产生的电场分布产生了扰动。当分析近场显微像时，必须考虑由探针引起的 散射效应，探针与样品相互作用引起耦合效应，这就使用NsOM看到的形貌像与样品真正的形 貌可能不完全相同。另外，样品的近场像对探针在样品表面上的扫描方式也是很敏感的。对同一 样品，只要在成像时的工作条件稍有不同，都会得到不同的图像，甚至可能得到完全相反的图像。 因而，当前近场光学显微学追切需要解决的一个重要问题就是要从理论上对近场成像过程有清 楚的认识，从而为近场光学显微镜中的图像的正确解释及新仪器的开发提供理论依据。本文采用 时域有限差分法(FDTD)对近场成像的过程进行分析。 时域有限差分法 时域有限差分法(FD7rD)是求解Maxwell方程的一种数值解法。FDTD是KSYee于1966 年首次提出的。其主要特点是(1)能直接在时域进行计算；(2)适用范围广}(3)节约存储空间和计 算时间。以前，FDTD主要应用于微波领域，模拟雷达散射截面和天线辐射图，而在光学领域并束 得到广泛应用，其原因是一般的光学问题都是在远场，而FDTD不适合于求解远场问题。近场光 学研究的是小于一个波长以内的电磁场分布，因而，采用FDTD研究近场问题是很合适的。 在直角坐标系r，将时域Maxwell方程展开成六个偏微分方程，并将电磁场的各分量置于 Yee氏网格中，用中心差分公式代替各个偏微分方程中的偏微分运算，经整理后，可以得到六个 差分迭代公式。由此在每一时间步计算嗍格各点的电场和磁场分量，随着时间步的推进，即能直 接模拟电磁波的传播及其与物质的相互作用过程，给复杂的物理过程描绘出清晰的物理图像。 计算模型及计算机模拟结果 我们考虑的近场扫描光学显微镜的三维模拟系统如图1所示。样品为一平行六面体，其折射 射光从样品的下方止入射，探针在样品表面上方扫描。我们研究了探针在样品上方0nm、30nm 及60nm时对近场像所产生的影响。 计算机模拟结果如图2所示。其中横坐标为探针在样品上方的扫描位置，位置3为样品正 中，2、4为距止中50nm，15为距正中】00nm。纵坐标为探针接收到的强度。 基盘项目：斟家自然科学基垒资助项目；人工微结构与介观物理国家重点实验室开放碾题 r．Microsc．Soc 电了显微学报J．Chin．Elect 1999年 183 18(Supp)：182～183 孙国 2