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化,甚至有时会生成过大的颗粒而沉淀;而无机盐溶胶一旦制备出后,只要保持室温,不造
成溶荆的散失,其粘度就基本上不发生变化,这可从表l溶胶的粘度随时间的变化看出。
表1:溶胶的粘度随静置时间的变化
时间(天) 2天 8天 22天 52天
粘度(厘米.泊) 6.O 5.5 5.8 5.2
温度对Ti%溶胶的粘度也有影响,如表2。
表2:TiO。溶胶的粘度与温度的关系
I(0.187m01/1) II(0.019mol/1)
温度(℃) 粘度(厘..泊) 温度(℃) 粘度(厘..泊)
16 16 17 2.2
20 12.2 20 1.8
25 9.2 25 1.6
30 37(凝聚) 30 9.3(凝聚)
3.3Ti
02薄膜的物相分析
3.3.1Ti02凝胶的m--DTA曲线分析
图4Ti啦涨的粥一哪曲线 图5单晶硅片上不同温度处理的nQ搏膜x衍射图
出,TiOz在96。C时有一个吸热峰,对应1G曲线0℃~坩)℃这一温区失重现象比较明显,可以认为是
742
Ti嘣除自由水、吸附水和结构水所致;在379C有一个放热峰,可能是锐钛矿相向金红石相转变
形成的。
3.32不同热处理温度Ti0,薄膜的x衍射
xRD结果表明(图5),干凝胶膜的物相随着热处理温度的升高逐渐转变为锐钛矿直至
金红石。从图中可以看出,干凝胶膜在80(2热处理lh后,开始有锐钛矿相的衍射峰出现,
随着温度的升高,锐钛矿相逐渐增多,且晶型趋于完整;当温度高于450C时,开始出现
少量金红石晶型,在450C~700C的热处理样中,锐钛矿相和金红石相共存;但锐钛矿的
量相对减少,而金红石的衍射峰逐渐明显,表明薄膜中的锐钛矿随着温度的升高向金红石
相转变。
3.3.3Ti0,薄膜的T酬分析
图6:Ti02膜740Cx3h的TEM [虱TTi02膜850Cx3h的TEM
采取特定技术手段将TiO:薄膜从基片上剥离,在唧下对其进行观察分析。740C烧
结的薄膜中自形性强,烧结性相对较差:而850C烧结的薄膜中开始出现大量的晶粒烧结
现象,且晶粒大小趋于均匀。
4.结论
l、TiO。的溶胶可以通过TiCl。加入尿素后水解,沉淀经水洗、离心,加入冰乙酸后
超声2小时处理制得,所得溶胶的颗粒度为62nm左右。
2、TiO。溶胶的粘度随浓度的增大而提高,在合适的粘度下运用重复甩胶法可在硅基
片上制备出Ti02薄膜。
3、高温烧结下的薄膜晶粒大小趋于均匀。
参考文献
j.高桥康窿,田中九雄等,日本陶窑协年会议文集,1993(春):358
2.陈玉峰,李懋强,中国材料研讨会论文集,北京:中国材料研究学会,1994:156
3.YokoT,Kamiya,YogyoKyokaiS屋,95(2),1987:150
致谢:感谢上海市自然基金会95Jcl4016项目的资助
743
AI:O,.SiO:系耐高温无机涂层的制备及研究
彭红杨辉王秀芳蔡钢
浙江大学材料系浙}2:310027
摘要:热膨胀系数是影响耐高温无机涂层抗热震稳定性的重要因素之一,本文从控帘1耐
高温无机涂层的膨胀系数着手,以^l:03-SiO:耐高温无机熟料粉为主要原料,采用无机
结合荆,通过控制添加剂的成分和种类,制备了性能优良、膨胀系数可调(最大可达15.0~
x
20.010—6rc)的耐高温无机涂层,可以涂覆于无机结构材料以及金属表面.同时研究
了耐高温无机涂层的性能与组成之间的
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