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I一
围6固相激光诱导化学沉积技术
制作之微艘电路固形
(未镀金增厚)
置i j皇族材料的TGA和DTA分析
CAD激光制作电路图形研究(一)
．——设备及软件
上海复旦大学化学亲 王建 叶匀分郁祖湛
～骜器；谚；7 上海激光技术研究所 陈持平
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技 } 研审f开发了微机控制的激光聚焦扫描未
患电． 沉精 积入 、 采特 耕出 电牛 路控 固制 彤激 的兄 要扫 求描 在陶瓷基板上制作出电路图形．
爱，!：置”诨m 许皋静‰ 对～茕t 目．可+．I己 租菇“留 嵌现描 讲薛浒 导目．导 空彤苋 属竹识
黼漕言 维器件”工艺提供了一种新途径．在微电子制造工业
中受到日益广泛重视．
辩戮瀑蔓 该技术原理如图1所示。首先将一种金属有机
化合物涂布在基体上形成一层“膜层”，在激光照射
下，曝光膜层分解还原为金属并与基体结合在一起，
一_黼 未曝光膜层通过清洗褪除，从而达到局部抗投的目
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．’有可
要选到可制作图形的目的．关键要有精密的微
善骞蓦L 妻饕；
机控翻的教光聚焦扫描系统，目前我们巳成功研制 到5微米．
开发丁整套系统，并利用该系统结合固相激光诱导 3．激光扫描系统
盒疆沉积工艺实现了
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