双质量振动式硅微陀螺理论和实验模态分析.pdfVIP

第 23卷 第 2期 光学 精密工程 Vol_23 No．2 2015年 2月 OpticsandPrecisionEngineering Feb．2O15 文章编号 1004—924X(2015)02—0467—10 双质量振动式硅微陀螺理论和实验模态分析 姜劭栋，苏 岩，施 芹，裘安萍 (南京理工大学机械工程学院，江苏 南京210094) 摘要 ：考虑硅微陀螺的设计和结构优化 ，研究了陀螺 固有频率及模态对其性能的影响。针对本课题组研制 的双质量振动 式硅微陀螺，利用能量法建立了固有频率的理论公式，对硅微陀螺的低阶模态进行了理论分析，并利用有限元仿真和实 验对理论分析结果进行 了验证 。结果显示 ：理论分析结果与仿真结果的最大误差为 8．6 ，与实验结果的最大误差为 10．6 。利用 Allan方差分析法对陀螺进行了静态性能实验，结果显示其角度随机游走为 0．0578(。)／hr+，零偏不稳定 性为 0．459(。)／hr。与传统的单纯依靠有限元仿真的模态定阶相 比，本文建立的理论模型可以省略繁琐的结构参数调整 过程 ，更高效地完成陀螺模态定阶，而且可用于陀螺的结构优化过程 。 关 键 词 ：双质量振动式硅微 陀螺 ；固有频率；能量法 ；模态 中图分类号 ：V666．123；TP273 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE0467 Theoryandexperimentalmodalanalysisof dual·massvibratingsilicon micro--gyroscope JIANG Shao—dong，SU Yan，SHIQin，QIU An—ping (SchoolofMechanicalEngineering，NanjingUniversityof ScienceandTechnology，Nanjing210094，China) *Co7一rPs户0 gauthor，E-mail：apqiu@mail．njust．edu．cn Abstract：Fordesigningsiliconmicro—gyroscopesandoptimizingtheirstructures，theeffectsofintrin— sicfrequencyandmodalofasiliconmicro—gyroscopeonitsperformancewereresearched ． Onthebasis ofenergytheorem ，atheoreticalformulaoftheintrinsicfrequencywasestablished。andthelowest frequencymodeofthedual—massvibratingsiliconmicro—gyroscopewasanalyzed．Then theanalytical resultswerevalidatedbytheFiniteElementM ethod (FEM)simulationandtheexperiment．Analysis resultsshow thatthelargestanalyticalerrorswithrespecttosimulationandexperimentare8 ． 6 and 10．6 ，respectively．Moreover，theAllanVarianceanalysiswasusedtoconductastaticperformance experiment，andtheresultsde