一种用于差分电容检测中前置电路的开关电路探究.pdfVIP

第26卷第8期增刊 仪器仪表学报 2005年8月 一种用于差分电容检测中前置电路的开关电路研究 谭晓昀 熊 俊 刘晓为 赵 辉 刘 楠 (哈尔滨工业大学MEMS中心 摘要提出了一种用于差分电容检测中前置电路的开关电路，该电路使得信号易于解调而能简化信号处理电路。阐述了电路 的工作原理及相关特性，在250kHz的载波频率下，给出了Hspice仿真结果。 关键词 差分电容检测 前置电路解调 信号处理 ofaFacile DemodulationforDifferential Study Signal Pre-circuit Detection Tan JunLiuXiaoweiZhaoHuiLiuNan XiaoyunXiong Institute 1 (MEALSCenter，HaerbinofTechnology，Haerbin a isconstructeda AbstractIt newkindof fordifferential test，which presents pre—circuit capacitance by switchedcircuit．Thiscircuitcan to demodulationand the bringfacilitysignal predigestsignalprocessing circuit’S mechanismanditscharacteristicsare simulationresultswith greatly．Theoperation investigated．The the250kHzcarrierwaveis Hspice，under given． wordsDifferential detectionPre—circuitDemodulation Key capacitance Signalprocessing 1 引 言 2电路特性分析 随着MEMS技术的发展，许多微机械惯性器件的 电路基本结构如图1所示，差分电容是由两相驱 敏感部分通常采用差分电容结构，利用差分电容的变 化来反映被测信号的方向和大小口1。受结构微型化的 相位相反。由外加信号引起传感器结构部分的位移变 影响，传感器的固有电容非常小，一般为几个皮法左 化，从而导致差分电容的变化，经过高频载波调制后， 右，其由于外界信号引起的差分电容变化也很小，约为 信号信息便蕴藏在电容的变化量AC中，通过对活动 飞法的量级口”]。同时，微惯性器件的分辨率很大程度 上受到结构部分噪声的限制n3。因此，设计合适的电路 后级的信号处理。 将微小信号从噪声，干扰信号中解调出来是十分必要 的。现在运用较多的是将输入信号调制到噪声特性好 置放大器的输入端，由于运算放大器的输入电阻一般 的较高的频率，避过半导体器件信噪比很差的低频区， 很大，电路中又是应用CMOS运算放大器，输入电阻 将之放大到足够大后，再将之解调的方法。根据信号的 可以大于10”Q，因而可能由