介质上电润湿液滴驱动地研究.pdfVIP

介质上电润湿液滴驱动的研究 吴建刚 岳瑞峰 曾雪锋 刘理天 清华大学，北京，100084 摘要：制备了介质上电润湿液滴驱动器，该驱动器采用“三明治”结构：下极板由Ti／Pt微 电极阵列、si。N。介质薄膜、碳氟聚合物疏水薄膜组成，上极板是覆盖有疏水薄膜的透明电极， 液滴被夹在上下电极之间。分析了驱动器的驱动原理、驱动阻尼以及介质层捕获电荷的影响， 讨论硅油填充“三明治”结构和空气填充“三明治”结构的差异。 关键词：微流体；芯片实验室；微机械；介质上电润湿 中图分类号：TH706；TH79 Researchon Actuation Eiectrowetting--on—Dielectrics Wu Yue LiuLitian JiangangRuifengZengXuefeng TsinghuaUniversity，Beijing，100084 Abstract：A ofan actuatorwas of prototypeelectrowetting--on—dielectrics two andasandwiched bottomconsistsof asthe parallelplates droplet．Theplate Ti／Pt filmasthedielectricandafluorocarbonfilmasthe Si3N4 polymer hydrophobiclayer． array，a layer The consistsofafluorocarbonfilmasthe anda elec— topplate polymer hydrophobiclayer transparent trode．The oftheactuation，theflowresistance，theinfluencesoftrappedcharge drivingprinciples andthedifferencesbetweentheo订一filledstructureandair—filledstructureswerediscussed． Key 0 引言 复杂的驱动阀、泵构成，并依附三维流体通道实现 对液体的操作和控制，主要驱动方式有压电驱 在微全分析系统(micro—total—analysis 动口]、气动驱动[2]、电化学驱动∞]、剪切力驱动H]， system，弘TAS)或芯片实验室(Lab—on—chip， LOC)中，对微升级、纳升级液体进行精确操作和 以及电渗驱动[51等。然而，随着受控流体尺寸的 控制是其核心和关键。常规流体控制芯片一般由 减小，常规微流控芯片的局限性越来越明显：结构 复杂，加工难度大；需要机械泵、阀配合使用，集成 收稿日期：2005一03—23 化难度大，而且多次使用存在机械部件磨损以及 基金项目：国家自然科学基金资助项目；清华大学基 础研究资金资助项目(JC2003060)