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微气体传感器的稳定性测试研究——魏广芬唐祯安 陈正豪等
微气体传感器的稳定性测试研究
魏广芬1 唐祯安1 陈正豪2 余 隽1 王立鼎1
1．大连理工大学，大连，116024
2．香港科技大学，香港
摘要：测试了一组微热板式气体传感器的稳定性，着重讨论了稳定性的几种描述方法，采用
统计学方法对文献中常用于描述稳定性的几种特征参数进行了比较和取舍，引入了特征参数离
散度来描述气体传感器的稳定性，并使用该方法比较了预加热时间对传感器稳定性的影响。
关键词：微气体传感器；稳定性；SnO：；特征参数
中图分类号：TP212 文章编号：1004—132X(2005)14～1247一04
on of Sensor
MeasurementMicroGas Stability
Investigation
Wei Zhen’anlChanCH Yuunl
GuangfenlTang Philip2J WangLidin91
1．Dalian of
University
Technology，Dalian，116024
of and
Science
2．Hong University
Kong Technology，HongKong
a of the
of seriesmicro basedsensorswere and
Abstract：The investigated
stability hotplategas
methodswerediscussedinfocus．Fromthe ofstatistics，thefeature
descriptive point general parame—
terstodenote were andan setwasextracted．The
sensors’stability
gas comparedoptimalparameter
of was this
variationcoefficient todescribethe
parametersadopted stability．Byusingapproach，the
of timeon
influences were
gas
preheating sensors’stabilityinvestigated．
words：micro
gassensor；stability；Sn02；feature
Key parameter
0 引言
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