不同步长、不同间隔的驱动电压对压电陶瓷非线性的影响.pdfVIP

V01．30 第30卷增刊 昆明理工大学学报(理工版) Sup． Journalof ofScienceand and Oct．2005 2005年lO月 KunmingUniversity Technology(ScienceTechnology) 不同步长、不同间隔的驱动电压对压电陶瓷 非线性的影响 修舟，钟丽云，吕晓旭 (昆明理工大学理学院，云南昆明650093) 摘要：压电陶瓷(PZT)作为微位移驱动器在各类移相器中得到了广泛的应用，但存在位移非线 性这一缺点．为了找到不同步长、不同间隔的驱动电压对PzT非线性影响的规律，该文针设计了 一套简单方便的测量系统，详细分析了测得的数据，选定并验证了FZT理想的驱动电压步长及 时间间隔。为PzT的应用提供了科学的依据． 关键词：压电陶瓷；非线性；驱动电压；不同步长；不同间隔 中图分类号：TN26文献标识码：A 文章编号：1007—855X(2005)Sup—0344一04 Influence DistanceandInterval ofInequable DrivingVoltage onthe ofPiezoelectricCeramic Nonlinearity Micro-displacement XIU Xiao—XU Zhou。ZHONGLi．yun，Lv ofScienceand University (FacultyofScience，Kunming thedriverof hasbeen the of Abstract：As nonlinearity micro—placement，PzTappliedwidely，but displace· mentisits findtheinfluenceof distanceandinterval onthenonlineari- shortcoming．To inequable drivingvoltage setof is inthis is andconvenient．Thecollecteddata 哆ofPzr，a testing designedpaper，whichsimple system are in the distanceandintervalforthe aleselectedand analyzeddetail，andperfect drivingvoltages proved．The scientificfoundationforthe ofPzTisprovided． application distanceandinterval Keywords：PZT；nonlinearity；drivingvoltages；inequable O引言 压电陶瓷(PZT)具有体积小、响应快、位移量大及位移精度高等优点，是目前应用非常广泛的微位移执 行器．但由于材料自身的特性及其制造工艺上