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· 98· 材料导报
透明导电SrCu202薄膜的制备技术与生长机制的探讨。
方 亮1’2，高 岭1，董建新1，彭丽萍1，刘高斌1，汪立文1
摘要
长机理方面需要解决的问题。
关键词 SrCuz02异质外延域匹配
on MethodsandGrowthMechanismof
StudyDeposition
SrCu202 ConductiveOxidesFilms
Transparent
FANG Jianxinl，PENG Liwenl
Lin91，DONG Lipin91，LIU
Lian91”，GAO
(1 of 400044；2 of
DepartmentAppliedPhysics，ChongqingUniversity，ChongqingKeyLaboratory
and oftheEducation of 400044)
TechnologySystems MinistryChina，ChongqingUniversity，Chongqing
AbstractSrCu202(SC0)isanewkindof TC0witha directbandandcanbe at
p-type large gap prepared
on and near-UVLEDShavebeensuccess-
lOW 02 n-ZnO
temperature．Basedp-SrCu2 films，hetero-junctionstransparent
itswide this characteristicofseveral methods
fullydeveloped，indicatingapplicationprospect．Inpaper，the deposition
ofSCOthinfilmare indetailandthe betweenSCOandZnOarediscussedbasedonthei-
descript epitaxialrelationship
deaof“domainmatch the needtosolveinthe ofSCOare
epitaxy”，andquestions hetero-epitaxygrowth proposed．
words match
SrCuz
Key 02，epitaxialgrowth，domain
成p-n异质结，制备新的透明半导体器件，如紫外激光二极管和
0前言
紫外敏感的光伏器件，就是一个值得探索的新课题。这对于充
透明导电氧化物(TCO)是一系列具有独特物理性能的材分利用它们各自的优点，克服单极性宽带隙半导体材料掺杂的
料，因同时具有透明和导电的特点，广泛用作平面显示器、太阳
质结紫外发光二极管就是在这方面的一次成功的探索和尝
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