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一种基于矩形薄板面内振动的新型直线超声电机 苏艳文，黄卫清 (南京航空航天大学，江苏南京210016) 摘要：针对目前利用矩形薄板面内振动的直线超声电机普遍存在的固定困难和频率一致性难以调节的问 题，提出一个新的直线电机结构方案。该结构利用纵向刚体运动和横向一阶弯振的工作模态来实现驱动头的椭圆 运动，并设计外框来固定振动体；利用振动体与定子外框之间连接的细条截面尺寸对两个模态的不同敏感度实现 模态一致性的调节。样机运行可靠，其最大运行速度为92．2mm／s，最大输出推力为0．79N。 关键词：直线型超声电机； 压电陶瓷； 频率一致性 1引言 直线型超声电机具有功率重量比大、直接产生直线运动和推力、响应快、位置分辨率高、断 电自锁等特点。特别适用于半导体工业和精密仪器【l】。虽然直线型超声电机目前还处于研究和不 断完善阶段，但它具有极大的发展潜力。80年代中期，人们开始研究直线型超声电机，从行波 型到驻波型，衍生的电机种类已经非常繁多。其中，利用薄板面内振动的直线型超声电机以其体 积小、结构简单，能够实现精确定位的优点受到人们的青睐。国内的两个典型实例：如2001年， 南京航空航天大学超声电机研究中心设计了国内首台基于矩形薄板面内振动的直线型超声电机 原理样机12J；2003年该中心设计了一台基于矩形薄板面内振动模态的双足型直线超声电圳31。上 述两个电机都是采用矩形薄板的面内一阶纵振和横向的二阶弯振，只是驱动足的位置和个数不 同。上述电机定子采用在节点处夹持的方法来防止机械固定干扰工作模态，实际上，这种方法并 不能完全消除工作模态的影响；而且不利于电机的实际应用[41。另外，该类型电机利用两个方向互 相垂直的振动来合成椭圆运动，这两个模态频率一致性的调节就显得尤为重要。但实验表明这种 电机两个方向振动的频率不容易相同或接近。为了解决上述两个问题，新电机结构改变了定子的 夹持方式，实现简单、实用性强，并且通过增加定子外框作为固定桩来实现夹持，有效减小了对 工作模态的影响。同时，通过对本电机的动力学特性研究及有限元方法求证，找到了只对一个方 向的谐振频率有显著影响，而对另一方向的谐振频率影响较小的细条上的敏感尺寸，有效的解决 了纵、弯工作模态频率一致性的问题垆J。 2定子的结构和电机的工作原理 为了解决定子夹持的问题，利用矩形薄板(振动体)的面内纵向刚体振动模态和横向一阶弯 振模态作为工作模态，避免了工作模态的节点在振动体上。振动体的工作模态示意图如图1所示。 根据模态振型，驱动头应设置在振动体上表面中间位置，以得到最大的振幅。对周围分布的压电 陶瓷施加合适的激励电压，振动体表面的椭圆轨迹就可以实现，振动体的运动原理分析如下图2 所示。其中，(a)、(b)、(c)和(d)分别是其运动过程中的四个极限状态： (a)表示横向振动的位移向上达到最大，纵向没有位移，驱动头与滑条紧密接触 (b)表示纵向振动的位移向左达到最大，横向没有位移，驱动头逐渐与滑条脱离 ．213． 图l振动体工作模态示意图 图2振动体运动原理 (c)表示横向振动的位移向下达到最大，纵向没有位移，驱动头与滑条完全脱离 (d)表示纵向振动的位移向右达到最大，横向没有位移，驱动头逐渐与滑条接触 动头逐渐与滑条接触上。上述两个过程中定子的振动将驱动滑条作直线运动。当振动体的纵向振 动位移为最大振幅，即电机处于(b)或(d)状态时，电机的输出推力为0。 为了使振动体产生纵向整体振动模态，将陶瓷片分布在振动体的两端。同时施加相位相反的 两相电压(如图3(a)所示)。纵向振动的简化模型如图3(b)所示。 图3(a)纵向振动陶瓷片位置及电场施加 图3(b)纵向振动简化模型 其中，七是压电陶瓷在极化方向的等效刚度，c是等效结构阻尼，m是振动体的质量。在驱 动足B点处，假设其纵向振幅为a，则由振动理论，当压电陶瓷被激励时，振动体在B点的纵向 刚体振动响应函数为 x=asin(tot+a) (1) 在振动体下表面的中间位置粘贴一压电陶瓷片，并且振动体两端通过两个细条和定子外框相 连(如图4(a))。细条的Y向