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像散法离焦检测的光学设计
朱泽玮·隋国荣’
1)上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海200093
摘要：为了实现高精度的离焦检测，通过理论研究，确定了基于像散法的检测方式。设计了
相应的光学系统，利用仿真软件对设计参数和关系进行了仿真，确定了影响探测精度、灵敏
度以及二r扰的因素，并设计了光学系统，对实现高精度像散法离焦检测产生指导和实际意义。
关键词：像散法，离焦检测， 软件仿真，参数设计
中图分类号TH822 文献标识码A
offoCUSdeviation basedon
OpticsDesign detecting
method
astigmatic
1
Zewei Sui
Zhul，Guorong
of andElectronInformation of forScience
Shanghai
(1．CollegeOptics Engineering，University
and 200093．
Technology,Shanghai
thetheoretical
Abstract：Inordertoachieve ofdefocus research，
highprecision detection，through
on of tothe
thedetectionmethodbased opticalsystemcorresponding
astigmaticmethod．Design
simulationsoftware detection
using simulation，factorsaffecting precision，
designparameters，and
andinterferencehavebeen the ofthe
determined，and system，the
sensitivity design optical
realizationof defocusdetection and significance．
highprecisionastigmatic guidancepractical
offocus of
method；detectiondeviation；softwaresimulation；design
Keywords：astigmatic
parameter；
1引言
离焦检测技术在，匕存储、激光直写、药品检测和聚焦伺服技术等应用领域中具有重要的
作用【．-61。离焦检
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