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直流残余电压无偏离离子风机的设计 王荣刚，孙玉荣，成玉磊，赵雷 (苏州天华超净科技股份有限公司。苏州215121) 摘要：对市场上离子风机的技术特点以及应用做了阐述，并结合其最主要技术参 数残余电压输出提出了一种改进设计．此种新型离子风机设计能够对残余电 压输出进行实时监测，并通过模拟信号处理电路将此项参数反馈给监控单元， 监控单元根据反馈值对输出电压做出相应调整，从而完成闭环控制经实测分 析，此新型离子风机可以将残余电压控制在【_3V，+3V】． 关键词：离子风机；残余电压；反馈；闭环控制 目前，电子工业(包括液晶、半导体、 2闭环调整系统设计原理 集成电路、硬盘、磁头等)静电防护区 此新型离子风机控制系统由模拟信号采 集电路、模拟信号处理和反馈电路以及残余 (EPA)的静电控制已经成为—吟Hf本系工程n1．在 此防静电体系中，从厂房的设计、生产设 电压调整电路组成一个闭环控制的系统，如 备、产品的生产过程和生产者每一个可能产 图l所示．模拟信号采集电路通过金属传感器 生静电的细节都必须得到有效地控制．其中近 实时监测离子风机平衡电压输出情况，并通 年来逐渐兴起的防静电离子风机是已经成为 过信号处理和反馈电路对采集到的实时信号 防静电系统中一个重要的组成部分，同时它 进行处理，输出的信号经过判断，输入残余 的使用领域也在不断的拓宽，被广泛的使用在 电压调整电路，调整电压的输出，最终将残 了印刷、制药、石化等生产过程中．离子风机 余电压保持在卜3V，+3V】之内． 通常悬挂在于工作台面上方或放置在工作台面 上，用来消除作用范围内的物体表面上的静电 嚣H熊H萎萎訾 荷此种消静电方式利用高电压使空气电离产 生正负电荷，中和物体表面静电，引起国内外 餮叁嚣I—!调整电路Ir 科研人员和电子厂商的极大的重视嘲疆1．笔者从 离子风机的残余电压入手，介绍了一种新型 离子风机的设计和研究，并结合实测数据对 其性能进行分析． 图1残余电压调整电路原理图 Chartofcontrol Fig．1Principle system 1离子风机技术特点 2．1信号处理变换电路 对于离子风机而言，残余电压是影响其 该电路主要完成将金属传感器获得的模 功能的重要参数，反映了其静电控制能力．残 拟信号转化成系统可以识别的信号，从而给 余电压越小，离子平衡状态良好，带电体表 系统判别提供参考．其信号线路原理图如图 面静电荷消除后残余电压越小，同时避免离 2所示，模拟信号经该链路变换处理最终送 子风机本身会成为静电产生源，导致物体表 入信号比较单元． 面逆带电．本设计中离子风机采用新型的残余 电压调节装置，利用闭环调整系统随时向控 制板发送信号调节残余电压的输出，使离子 图2模拟信号处理电路原理图 Chartof 残余电压可控制在【一3V，+3V】内． PrincipleAnalogSignalProcessing Fig．2 6l 2．2残余电压调整电路设计 测试原理图如图4所示．离子风机置于台 残余电压调整电路原理图如图3所示． 面上，TPl—12为放置充电板监测仪的位置，