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4A
第29卷第4A期 计 量 学 报 V01．29，No
2008年9月 ACTAMEⅡt0IoGICASINICA
纳米膜厚的量值溯源初探
崔建军， 高思田， 杜 华， 卢明臻， 施玉书
(中国计量科学研究院，北京100013)
摘要：概述当前国内外纳米材料结构膜厚参数的计量现状，针对我国目前纳米膜厚尚未建立计量溯源体系，提
出一种可实现纳米膜厚的量值溯源的途径。首先选择X射线衍射仪(XRD)作为纳米膜厚的计量标准装置，再研制
带有台阶的膜厚校准样板，样板经过计量型原子力显微镜检定后，可以校准XRD，从而实现纳米膜厚的量值溯源。
还对纳米膜厚校准样板的研制和XRD的计量性能进行初步探讨，为建立我国纳米膜厚测量标准和纳米膜厚测量方
法标准化提供技术准备。
关键词：计量学；X射线衍射；纳米膜厚；纳米计量；量值溯源；计量型原子力显微镜；纳米标准
中图分类号：TB921 文献标识码：A 文章编号：1000．1158(2008)4A-0160-04
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ofNano
PreIiminaⅣStudyTraceability
ThicknessMeasurement
CUI GAO SHIYu—shu
Si—tian，DUHua，LU
Jian-jun， Ming-zhen，
Instituteof
(National 100013，China)
Metrology，Beijing
oftlle
Abstract：ThesituationllanofilmsthicknessmeasurementiS tIle of
present described．Nowadaystraceabilitysystem
nanometerfilmsthicknessmeasurementisstillnotbuiltinChina．sohowtofindone toTealizethe ofnaNofilm
way traceability
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