CVD金刚石膜新兴研究方向及市场现状和趋势.pdfVIP

2008年第4期 中国热处理技术通讯 表面改性 CVD金刚石膜新兴研究方向及市场现状与趋势 吕反修 北京科技大学，北京100083 摘要：CVD金刚石膜研究已经持续了30余年，但仍然充满活力，新的研究方向不断出现。纳米(和超纳米)金 刚石膜、金刚石膜MEMs和NEMs应用、大尺寸CVD金刚石单晶、金刚石膜电化学应用和生物医学应用是当前CVD 金刚石膜的研究热点。CVD金刚石膜研究已经进入工业化应用阶段。当前的主要市场应用仍然是工具(摩擦磨损)， 高端产品，如热沉、光学、探测器和传感器、SOD、SAW等虽已有产品上市，但市场规模不大。当前阻碍CVD金 刚石膜市场发展的主要因素是高昂的制备和加工成本，以及金刚石膜和异质材料的连接技术。可以相信，随着上述 问题的逐步解决，CVD金刚石膜的市场应用必将出现一个欣欣向荣的局面。 关键词：CVD金刚石膜：新研究方向；市场发展趋势 Diamond 不久前第二届新金刚石及纳米碳(New 金刚石膜生物医学和电化学应用、金刚石在MEMs andNanoCarbon)国际会议刚刚在台北召开(2008和NEMs中的应用、金刚石探测器和传感器等是目 年5月25．29日)。新金刚石及纳米碳系列会议是在前的研究和开发热点，而一般性的制备和表征以及应 Oil Conference 用已经失去新意而转入产业化应用和研发。 原有的ADC(InternationalApplication ofDiamondFilmsandRelated 限于篇幅，本文将重点对CVD金刚石膜目前的 materials)系列会议 (始于1991年，两年一度)和ICNDST(International研究热点方向和产业化现状及趋势进行介绍和评 ConferenceonNewDiamondScienceand 述。纳米碳管和纳米碳片目前研究热度正高，是许多 Technology) 系列会议(始于1991年，两年一度)的基础上合并专业性会议的主题，本文将不作介绍。 而成的，去年首届会议在日本召开。NDNC会期为 Diamond 一年一度，与欧洲金刚石膜会议(European 1 CVD金刚石膜热点研究方向 Film Conference，一年一度)并列为目前世界上两大 CVD金刚石膜实验室规模研究已经持续了30 金刚石膜系列国际会议之一。在台北召开的第二届 余年。因其在包括高温半导体、光学、热学、电化学、 NDNC会议代表来自20多个国家，与会人数接近500 声学和工具(摩擦磨损)等众多高技术领域的极佳 余人。 应用前景而在上世纪80年代曾形成席卷全球的金刚 会议名称的变化准确地反映了在金刚石膜及相 石热。世界各主要工业强国，包括美国、欧盟、俄 关材料研究领域近年来的动态和发展趋势。实际上 罗斯、日本和中国等都从国家计划层面给与了极大 这一趋势已经继续了相当长的一段时间了。最初的 的重视。如美国的“星球大战计划”、欧洲的“尤里 ADC和ICNDST会议基本上完全以CVD金刚石膜 Carbon