薄膜系列实验的教学探究.pdfVIP

第四届全国高等学校物理实验教学奸讨会论文集 薄膜系列实验的教学研究 熊永红，麦远棠，许巍，林楠 (华中科技大学物理系，湖北武汉430074) 摘要：从薄膜制备、生长过程动态分析以及形貌表征三方面对薄膜科学展开探索性研 究。利用粒子束溅射制备金属薄膜，研究制备条件对溅射速率的影响；同时测量薄膜生长过 程中电阻变化，用扫描隧道显微镜或原子力显微镜观测薄膜的表面形貌，并分析不同制备条 件得到的薄膜，其表面形貌的特征．本实验涵盖了真空系统、溅射镀膜、电阻测量、微观形 貌分析等多方面知识． 关键词：薄膜；离子束溅射；原位动态电阻测量；扫描隧道显微镜 1引言 一、低真空的获得 现代科学技术的发展中，薄膜科学技术 “真空”是指低于一个火气压的气体状 起着十分关键的作刚；薄膜科学正在形成一 态。在真空技术中，以“真空度”米表示气 门新的学科，并在高新技术领域中发挥着重 体的稀薄程度，真空度越高，气体压强越低。 大作用。在微电子技术和光电子技术中，大 通常气体的真空度直接J=fj气体的压强米表 量器件都是各种薄膜材料的人工叠层结构， 示，常刚单位为帕斯卡(Pa)或毫米汞柱 其薄膜厚度介于lnmNlm的范围内，如集 (mmHg)——简称乇(Torr)，它们之间的关系 成电路中各单元间的电互连就是采用光刻 为： 1 mmHg=l(Torr)=133(Pa)。 工艺形成微米或亚微米宽的线形金属膜来 真空可通过真空系统获得。任何真空系 实现的。薄膜的制备和微细加工技术起着极 统都存在“共性”，即都有一个基本的构架， 其关键的作用。各种具有优异性能的新型薄 需要由以下几个部分组成。真空室、真空泵 膜材料的研制和高超的微细加工技术的发 (视实验真空度的要求而定，确定使用那种 展使得电子器件和光电子器件达到前所未 真空泵或真空泵组)、各种阀门、真空规、 有的高度，推动了数据和信息处理技术的大 连接管道和其它附属设备，这些部件综合在 发展，使现代科学技术取得了举世瞩目的伟 一起就组成了真空系统。 大成就。 对于只要求低真空的实验装置如“小型 了解和掌握原子尺度的薄膜制备、结 直流溅射仪”，只需要机械泵就可达到需要 构、组份和物性的表征，根据器件特殊要求 的低真空状态，满足实验设计的基本要求。 完成薄膜材料的设计和制备工艺的精确控 二、直流溅射法 制，是对未来的电子工程师和材料、物理科 溅射法基于荷能粒子轰击靶材时的溅 学家们提出的紧迫要求。为此，我们为全校 射效应，而整个溅射过程都是建立在辉光放 理工科学生开设了“薄膜系列探索性实验”。 电的基础之上，即溅射离子都来源于气体放 要求学生掌握“薄膜制备、形貌和结构的 电。不同的溅射技术所用的辉光放电方式有 表征及物性测量”的相关知识和技术；了解 所不同。 和掌握直流溅射和磁控溅射法制备金属薄 直流溅射法利用的是直流电压产生的 膜的原理、方法和工艺。在实验室所提供的 辉光放电；射频溅射法是利川射频电磁场产 实验条件的基础上，在教师的指导下，由学 生的辉光放电：磁控溅射法是利用平行于靶 生自行设计实验计划，独立或合作完成实验 材表面的磁场控制一卜．的辉光放电。 内容，写出实验报告和总结。 三、薄膜生长模型及四端法测电阻