基于贝塞尔盒能量分析器规的ESD效应数值模拟的研究.pdfVIP

中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会 中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会 基于贝塞尔盒能量分析器规的ESD 效应数值模拟研究 张虎忠 李得天 成永军 习振华 肖玉华 (兰州空间技术物理研究所，兰州 730000) 摘要：在极高真空测量中，电子激励脱附效应（ESD ）是重要的影响因素之一。本文利用数值 模拟方法对其进行了分析研究，此研究为开展电离规的ESD 效应分析提供了重要的理论依据，同时 对于抑制ESD 效应，制备新型极高真空规具有重要意义。本文选用离子光学模拟软件SIMION 8.0 建立了ATG 物理模型，分析了能量分析器电压对ESD 离子收集率的影响，并基于ATG （型号AxTRAN ISX2 ）进行了ESD 效应实验研究。理论模拟结果能够很好地说明实验研究结论，在极限真空条件下 -9 （1.0×10 Pa ），正离子穿过能量分析器后，ESD 离子和气相离子能量差达到40eV 左右，此良好一致 性也证明了数值模拟方法的正确性和合理性。另外，考虑到ESD 效应对极高真空测量发展的重要作 用，本文依此数值方法模拟计算了基于ATG 建立的新型碳纳米管阴极电离规的电子、离子运动轨迹， 模拟结果将为研究新型极高真空电离规的ESD 效应奠定理论基础。 关键词：电离规，极高真空，电子激励脱附，碳纳米管阴极 1 引言 电子激励脱附效应（ESD ）是影响真空测量下限延伸的关键因素之一[1-3] ，在极高真空条件下， 被收集极接收的 ESD 离子流甚至会高于气相离子流。综观真空测量发展，多种方法可以用于抑制真 空测量过程中的 ESD 效应，例如，栅极加热除气法、偏转法、反射法等等[4-6] ，其中，贝塞尔盒能 量分析器规（以下简称 ATG ）是利用能量分析器对存在能量差的ESD 离子和气相离子进行分离，从 而极好地抑制了 ESD 效应，将商用真空规的测量下限延伸到了 5×10-11Pa 。由此可见，根据两种离子 之间的能量差，通过结构和电极的优化能够有效地抑制 ESD 效应，而基于贝塞尔盒能量分析器的原 理，结合新材料和新技术，未来有希望实现 ESD 效应的有效抑制，进一步推动极高真空测量发展。 离子光学模拟软件 SIMION 3D 8.0[7]能够计算规管中电场分布，模拟带电粒子在电磁场作用下的 运动轨迹，分析其运动特征。此研究将着重从实验与理论两个方面讨论 ATG 的 ESD 效应和抑制机 理，同时模拟计算基于 ATG 构建的新型碳纳米管阴极电离规的带电粒子运动轨迹，为基于 ATG 构 建的新型 CNT 阴极电离规的ESD 效应研究奠定理论基础。 2 实验研究 ATG 的能量分析器筒是区分气相离子和ESD 离子的关键结构，能够有效抑制ATG 的ESD 效应， -11 延伸 ATG 测量下限到 10 Pa 量级，因此，本实验重点研究其能量分析器电压 Vbe 变化对正离子收集 率的影响。实验的机理是分析不同 Vbe 条件下收集极接收的离子流信号变化，从而分析出 ESD 离子 和气相离子的差异，并研究如何抑制 ESD 效应。 实验选择了 AxTRAN (ISX2) 贝塞尔盒能量分析器规，极高真空系统真空度达到 6×10-9Pa ，利用 一个稳压直流电源改变 Vbe 输入值，变化范围为 0-150V，一台 Geithley 6517A 直接测量收集极的离 子流，实验结果如图 1 所示。第一个气相离子收集率最大峰，对应 Vbe 为 65V，第二个 ESD 离子收 集率最大峰对应 Vbe 为 105V，由此可知，两种离子经过能量分析器筒偏转，能量差可以达到 40eV ， 373 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会 中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会 与初始能量差(约 5-7eV)具有较大差异，因此，通过合适的结构和电压设置，能够利用能量分析器筒 对两种不同初始能量的离子进行有效分离。 3.00E-013