微分子螢光感測技術在微系統實驗量測開發.pdfVIP

第八届海峡两岸航空航天学术研讨会 一一． 一。一竺竺坚墅竺型些型塑坚竺丝竺竺坠型尘竺竺些————————一 微分子蟹光感测技衍在微系统寅黩量测的冈霰 糨智敏黄智永 新竹清鼙大单勤力横械工程晕系 摘要：本研究旨在将微分子萤光感测技衔以光化罩方式虑用在微系统寅验量测，透通此技衍 可提供系统内整髅性屋力分怖。傅统上量测微流道系统裎的屋力分怖，须要以相富梭稚的制程方式 分散地安置屋力量测黠：相反的，蟹光分子感测方法以简易的制程送用逋耆的萤光分子即可提供微 系统／微流道内全域的麈力分怖。雎然微萤光分子感测方法已鼗展lo年以上，但将其臆用在微系统 内做流埸量测邰是遭畿年较新的菘题。所以此技衙在微尺度下的研究仍然需要努力。在本研究中， 已就萤光分子物理舆化肇的特性迤行分析，搭配不同的化睾溶剂，舆逋耆的黏著剂阴骚出一套可以 逼用在微流道喾中的屋力感测萤光鲨料，蓝且同畴讨谕测量的方法舆棱制，有效地增加量测的挲磋 性舆有效的量测箍圉e 髑键字：屋力舆温度感测婆料：萤光分子匿力舆温度感测方法：微流髓量测 of Sensorsin The Molecule—based Development Pressure／Temperature MicrofluidicResearch Chih·Min Lai，Chih-YungHuang ofPowerMechanical Hua Department Engineering，NationalTsingUniversity，Hsinchu Abstract：Thisaimstoutilizenovelmoleculebased sensors inmicrofluidic study pressure technique molecularbased sensor a to out straightforwardway investigations．The pressuretechniqueprovides carry measurementsinsidemicrodeviceswithout instrumentationnon·intrusive pressure complicated using in researchcarl and method．Conventional MEMS discretelimited experimentaltechniques onlyacquire data insidetheflowfieldandtheinstrumentsare and toinstall．Onthe hard points demanding contrary, thisnovel canobtain ina with measurement technique globalpressureprofilessin