溶胶--凝胶法制备V-%2c2-O-%2c5-薄膜的气敏特性的研究.pdfVIP

2000年10月·广西·北海 论第七届全国固体尊雎学术舍议 侯凤琴劬张英兰劬童茂松b) o中科院长春光机与麴理研究所长春，130023 ”吉林大学电子工程系、集成光电子国家重点联合实验室．长春，130023) 摘要： 本文研究了用无机蒎脓凝膝法制备的V_D，薄膜的XRD结果及其气敏特性。凝胶 乙醇具有较高的灵敏度。加热电压为5．5V时灵敏度达到最大值。该气敏薄膜具有较好的选 复时间为5s。 关囊葡：溶胶一凝胶法 VA薄膜气俸传感器 1引言 一 近十几年来，对V鼽的研究日益广泛深人，其原因是V_05薄膜独特的结构及其在 电学、光学、镑理化学等方面具有奇异的性质。应用前景十分广阔。到目前为止，研究发 现VI吼薄膜主要用于湿敏传感器【11、气敏传感器啪、抗静电涂层哪、电压开关Ⅲ、微电池m 以及电致变色显示器件阿等。制备v归，薄膜的方法很多，包括气相沉积【刀、溅射删、电沉 积咖等。但是这些方法工艺复杂，设备昂贵，而且不易进行掺杂。无机溶胶凝胶法制备V20，薄 膜，其工艺简单．无需昂贵的设备，化学计量准确，易于改性，而且反应温度低，适台于 工业生产。 本文首次报导了通过无机溶肢—凝胶法制备v205薄膜的气敏特性。 2实验 利用无机溶暌—凝胶法制备V归，薄膜。以V：q为起始物质，H20：为反应试剂。将 Ⅵ吼粉末溶于112他中。将溶液的PH值控制在2左右。得到红橱色无沉淀的前驱藩胶， 然后在100℃下干燥失水1h后得到凝胶。在凝胶中加入舔加荆，将其涂覆于带有梳状电 板的晦瓷管村底上．在红外灯下烘干10min．放人400。=C下退火12h后，即得瓣气敏薄膜。 将其焊接在六角管座上，制成传统的旁热式气敏元件。 气体浓度采用静态配气法。测量回路中的信号电流，样品对Q地OH敏感特性的灵敏 度表示为： s2k／L h 将Ⅵp，凝胶涂覆于经常规化处理的单晶硅(111)面村底上，经不同温度下热处理12 DS005型x一射线衍射仪进行XRD分析。采用步迸扫描 后得到三个样品。利用SIEMENS 3结果与讨论 2000年lO月·广西·北海 论第七届全国固体薄膜学术会议 出，60℃下处理曲样品的XRD谱(圈la)表现出典型的一维有序结构．所有韵衍射峰均 可表示为(001)。该衍射谱图与3c献[]01--致，薄膜材料为H2v，20。·8．4 H20干凝胶。图 lb为250C下退火12h样品XRD谱，由此谱图可以看出，样品不再具有凝胶的层状结构， 逐渐显示出V：05晶体的结构特性，但是衍射蜂并不多而且还有一定的非晶体性质。图1c为 400℃下退火12h样品的Ⅺo谱。可以看出样品衍射蜂很多，丽且峰形尖锐，所有的衍射 峰均属于单斜晶系的V20：晶体，表明材料B完全转变为V20；晶体。 ● S 1 气 楚 ●- 噬 一 餐 越 罩 塔 暇 ．! 、 a ： 量』∑====L二=o==匕：=======型 4 10 2030 4050 60 2e(。) 加热电压(v) 图I．样品在水同温度下热处理12小时的 图2．1号和2号元件的灵敏度随加热电压的变北 嫱①谱圈蛐弛固)250,(e)400xz 任何舔加桶的2号元件对乙醇气体的灵敏度随加热电压的变化关系，如图l所示。从图中 灵敏度．髓着加热电压的增加．而沣的灵敏度逐渐增大，其峰值