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数控多线切割技术及发展趋势.pdf
EPE 电子工业专用设备 ·专题报道·
EquipmentforElectronicProductsManufacturing
数控多线切割技术及发展趋势
戴瑜兴,汤 睿,张义兵,蒋 近
(湖南大学电气与信息工程学院,湖南 长沙410082)
摘 要:数控多线切割技术实现了集成电路制造技术的跨越式发展,已成为数控机床制造技术及
集成电路制造技术的重要标志,引起了发达国家的广泛重视。论述了数控多线切割技术的特征;
介绍了我国自行研制的 和 系列数控多线切割机床并与国外产品进行比较;指出了
XQ120 XQ300
开发大型数控多线切割机床的技术难点;阐述了我国研发具有自主知识产权的大型数控多线切
割机床设备的必要性。
关键词:多线切割;半导体加工;集成电路制造技术;数控机床;张力控制
中图分类号: 文献标识码: 文章编号:
TN305.1 A 1004-4507（2007）11-0001-04
NumericalControlMulti-wireSawTechnologyand
DevelopmentTrend
DAIYu-xing，TANGRui，ZHANGYi-bing，JIANGJin
(InstituteofElectricandInformationEngineering,HunanUniversity,Changsha,410082China)
Abstract:Numericalcontrolmulti-wiresawtechnologygivestheintegratecircuitmanufacturingtech-
nologyagreatdevelopment,whichbecomesaimportantsignofnumericalcontrolmachinemanufactur-
ingtechnologyandICmanufacturingtechnology,itgainstheattentionofthedevelopedcountries.This
articlediscussedthecharacteristicsofnumericalcontrolmulti-wiresawtechnology;introducedXQ120
andXQ300seriesmulti-wiresawswhicharedevelopedbyourcountryandcomparedwithoverseas
products;pointedoutthetechnicaldifficultiesofdevelopinglarge-sizenumericalcontrolmulti-wire
saw;andmadetheconclusionthatdevelopingthelarge-sizenumericalcontrolmulti-wiresawbyour
countrywhichownstheintellectualpropertyrightsisverynecessary.
Keywords:Multi-wiresaw;Semiconductorprocess;Integratecircuitmanufacturingtechnology;Nu-
mericalcontrolmachine;Tensioncontrol
1 引 言 是龙头，而集成电路产业则是整个电子信息产业的
核心和基础，集成电路产业的振兴对一个国家的经
在一个国家国民经济的发展中，电子信息产业 济发展有着重要的战略意义 [1]。目前，IC(Integrate
收稿日期:
2007-10-25
作者简
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