GaAs半绝缘探测器的研制.pdfVIP

  1. 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
  2. 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  3. 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  4. 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  5. 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  6. 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  7. 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
.第10屠拿零藏枣子学与攘撂■尊爿之学术年会论文集 f , 空竺竺坚竺塑!塑型塑!!塑唑竺!型竺!竺坐垒!!!!竺堕竺!竺翌塑。 GaAs半绝缘探测器斡研钟。 黄龙生,李倩,张目光,霍塞发,曹锦云 (西北棱技术研究所,西安710024) 、 ’ 。 。 : +, :;? t ●一。纛■■鉴霸礴L^I牛鼍●擘一●■麓■工芑请瞳帅黼蠹t、wt;qq盅,’暂■囊童狂蠢乎更 t虞辱主要性■t丁宴t■量·并舟蛔了毒霉千If烈鼙冲寨葺柬●埔出柏再拳一簟蓐萎l对■●赡lIt了 1 。 、 身析. ,~ 关■调·半艳聋,砷化鼙I棱探潮器,时闻响应I蕾量响应 .. 旷。弓璃· 翻 规 好 我们使用经苷量约10“n/cn一旺Il酶eV,宅罨蔫展过鼹‘’曩^J封辩研捌T霹仉硼翱m的 磐鼎髓豫降1)蝇嘲缚偿了辱毒兮暑蟪-母狰如4山是、!·媳P-姆降媳搦__蹲号 为.sm.2l忧臼曝·:蟪蔫片辜歪蠢,19H峨l蒜中奄两:晦繁拿可取,;;墨m,毒蒜蘸囊胃繇 ●12Ⅱm.傅作工艺沆程为t . . 。 1)材料的选取.探测器对材料构质量(如晶俸的完整:i睾÷肆褒#黜舞峰攥枣彝霹常严 辨荆喇隰将酵聃捌镶鸭舡删9咖荆㈣舰删究 n(cm.蓑疯子迁羲事心焉‘∞o~50∞c耐扣,V蚀杭教砖与.≤5*玲抽酵。,参謦国—嶙鹩, 为10I~lo.n·∞.载流子迁移事和饿坑浓度同姹GhA5. 片直径公差为一仉15~哪-25d射许{被“oh照出m‘j瞬蒯裹- 驰袁算蒲薅、将簿圈威嚣的薹片t海密燕峰If嗽咖·酴毒臻囊t帮潆搦精术砖蒲囊静. 135 一一———o上~’一~一~1h麓嗉I赫蠡均融_—~——————————一 I)化学庸蚀.基片用1·15t、∞:酶澳t甘镪i龟■糯霞越抒是鼍庸蚀3沁.然后甩去离子 褒,翻P谛漶:,?: :i一二0 ~一 ._J .:,. , 5)表面处理和充分清洗.GaAs片子在超净实验室里按以下腰序清洗(注意·垒囊能污染 嘶n·@1。1的HCl;DI水洗2商nI固DI水挽和麓声波赣冼5珈曲jL氮气吹干,效在千净嚣皿 中备用.

文档评论(0)

hnlhfdc + 关注
实名认证
文档贡献者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档