热物理性质测试技术研究现状和发展趋势.pdfVIP

《上海计量测试》2002 年 29 卷第五期 ·7 · 综述评论 　Comprehensive Revie w 　　　　　 热物理性质测试技术研究现状和发展趋势 奚同庚 　谢华清 ( 中国科学院上海硅酸盐研究所无机材料分析测试中心 　200050) 【摘 　要】　本文在对热物理性质研究在热能工程 、材料科学 、信息科学 、航天工程 、环境工程 、生物科学 、微电子技 术和计量学等众多科技领域中的重要性进行探讨的基础上 ,评述了热物理性质测试技术的研究现状和发展趋势 。 鉴于薄膜材料在微电子器件 、集成电路和微电子机械系统等领域中日益广泛的应用 ,本文还综述了亚微米 ———纳 米尺度薄膜材料热导率和热扩散率的测试新技术 。 【关键词】　热物理性质 ; 　测试技术 　　1 　前 　言 son 方程等就是这方面研究的有代表性成果 。 人类对物质热物理性质的探索和实验研 但是 , 由于实际材料的多样性和复杂性 ,至今 究至少可追溯到十八世纪之前 。早在 1753 尚未找到足够精确且适用面广泛的计算热物 年 ,Franklin 就提出不同物质具有不同接受 性的理论方程 ,热物性数据基本上仍需依靠 和传递热量能力的概念 ,这正是热导率本质 直接的实验测定 。因此热物性测试新方法新 最原始的表述 。1789 年 , Ingen 和 Hausz 首 装置的探索 ,至今仍方兴未艾[ 1] 。 次建成测量固体热导率的稳态比较法实验装 近几十年来 ,热物性测试和研究第一个 置 。热过程是物质世界普遍存在的一个物理 重要发展阶段在上世纪五十年代至七十年 过程 ,热物理性质不仅是衡量材料能否适应 代 ,其主要推动力是空间技术 , 以及七十年代 具体热过程需要的数量依据 ,而且是对特定 能源危机出现后新能源和保温技术 、节能材 热过程进行基础研究、分析计算和工程设计 料迅速发展的迫切需要 ,人们对热物理性质 的关键参数 。它还是揭示物质本质的最基本 的测试和研究 ,无论在广度或深度上都取得 的物理量之一 。因此热物理性质的测试研究 了重大进展 。于是 ,一门以测试物质热物性 兼有基础科学和工程应用的特点 。物质的热 新方法新装置的研究 , 以及探索宏观热物性 物理性质包括输运性质和热力学物质两大 与物质微观结构之间关系的崭新科学分支 类 ,除比热外 ,与能量和动量传递过程有关的 ———热物性学逐步形成 。热物性学在工程热 热导率 、热扩散率 、热膨胀系数 、粘度和热辐 物理 、计量测试 、材料科学 、固体物理 、物理力 ( ) 射物质 包括热发射率 、吸收率 、反射率 等均 学等学科的交叉中不断发展 ,科学内涵 日臻 属于输运性质 。 丰富 ,逐步形成比较完整的科学体系 ,其研究 为获取热物性数据 ,人们在理论计算和 范畴示于表 1[2 ] 。 实验测试新方法两个方面同时进行了长期的 至上世纪八十年代 ,热物性测试方法所 研究 。从物质微观结构出发 , 以量子力学和 用试样尺寸基本上处于毫米 —厘米尺度 ,极 统计力学为基础 ,探索宏观热物性的有效计 少涉及微米尺度 。近廿多年来 , 随着纳米科