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52．上海光源光束线真空系统 陈明+ 刘俊男刘腾飞薛松 (中国科学院上海应用物理研究所 上海 201800) +通讯作者：chenmin901@sinap．ac．ca VacuumforSSRFBeamlines system Chen Junnan，LiuTengfei，XueSong Ming，Liu Institute 201800，China) (ShanghaiofAppliedPhysics，ChineseAcademyofSciences，Shanghai AbstractThirteenbeamlineshavebeenbuiltatSSRF．Thevacuum is fora systemveryimportant beamline．Itis to radiation this thevacuum atSSRF designed X—ray．Inpaper system transportsynchrotron willbe vacuum testresultwithandwithout introduced，includingrequirement，design，andpressure electronbeamcurrentinthe storagering． Vacuum Keywords system，Beamline，SSRF 摘要 上海光源已建成13条光束线。真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分。本文介绍了上 海光源光束线的真空系统，包括光束线真空要求，设计计算和真空调试结果。 关键词 真空系统， 光束线， 上海光源 上海光源(SSRF)是一台第三代同步辐射装置，电子储存环设计能量3．5GeV，最 铁，预计有18个直线节用于建造插入件装置，约20块弯转磁铁可用于引出光束，每块 弯铁可分别自1。、3．1。引出两条光束线，因此共计可建造约60条光束线。目前已建 升级改造项目——软X射线干涉光刻分支线站。2013年，SSRF完成了梦之线项目和蛋 白设施项目的光束线建造。梦之线项目是建设一条基于双EPU插入件的宽能段、超高 能量分辨率的软X射线光束线，实验站有两个：角分辨光电子能谱(ARPES)和光电 子显微镜(PEEM)。蛋白项目包含5条光束线，其中复合物晶体结构光束线和X射线 小角散射光束线共用一个前端区，BL01B为红外光束线，含两个实验站。目前，梦之线 项目和蛋白项目的光束线正处于调试过程中。 光束线是一套将同步辐射X射线传输至样品的光学、真空系统。真空系统是同步辐 射光束线的基础工程，只有在真空环境中运行，光学元件才能够将同步辐射光传输到实 验站。真空工程的主要目标就是获得和维持合理的真空度，保证光束线的稳定运行。 306 一、 光束线布局和真空要求 反射镜和单色器是光束线的关键部件，此外还安装有其他功能部件，如光阑、狭缝 和光位置探测器等。如图1所示。光束线一般为30多米长。 卜约s米—卜 1、光阑；2、快阀：3、安全光闸；4，屏蔽墙：5、狭缝；6，气动门网；。7，反射镜羊目： 8、光位置探测器；9，镀窗；10，单色器：ll，差分泵站：12，真空规 图1光束线布局示意图 由于光束线各部件真空腔体内部均装有元件，如电机、反射镜和支架等，结构复杂 且均不相同，因此，光束线的压强分布不可能做到均匀。一般而言，光束线的压强分布 需满足以下三个方面的要求