高精度接触式测头测量力恒定设计方法研究.pdfVIP

技术探讨 离精度接触式测头测量力 恒定设计方法研究 on Methodof Contact Design High——precision Study Probe’SConstant Force Measuring 张强余晓芬 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院(合肥230009) 摘要：当测微仪采用接触式测头测量工件尺寸时，测量力的变化会对测量误差的修正造成一定影响，这种影 响在大量程高精度测量中更为严重。为了减小这种影响，提高测量结果的精确度，利用弹簧弹力同磁 铁磁力之间的动态力平衡原理设计一种恒力结构，并进行理论计算。对计算结果的分析与研究表明， 利用该设计方法实现测量力恒定是可行的。 关键词：高精度接触式测头测量力恒定设计动态力平衡 measurethe Abstract：Whenthemicrometerusesthecontactto work-piecedimension，thechanges probe forcecouldinfluencethemeasurementerrorcorrection．Theinfluencewillbecomemoreseriousin and long high range measurement．Inordertoreducetheinfluenceandenhancethe ofthemeasured constantme- precise precision results，a betweenthe andthe forcestructurewas the of forcebalance force designedutilizing dynamic spring asuring principle atheoreticalcalculationwasshowed．mand ofthemeasuredresultsindicatedthat force，and magnetic analysisstudy theconstant force the method． itwasfeasibletoachieve measuringbyutilizingdesign contact Constant force forcebalance Keywords：High-precisionprobe measuringdesignDynamic 对于解决测量力变化太大的问题，目前研究方法 1引言 尚不多。