二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计分析.pdfVIP

第 10卷 　第6期 光学 　精密工程 Vol. 10 　No. 6 　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　 2 0 0 2 年 1 2 月 Optics and Precision Engineering Dec . 　2 0 0 2 ( ) 文章编号 　1004924X 2002 二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计分析 1 1 1 2 2 曹召良 ,卢振武 ,李凤友 ,张慧娟 ,孙 　强 ( 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室 ,吉林 长春 130022 ; 2. 南开大学 现代光学研究所 光电信息技术科学教育部重点实验室 ,天津 300071) ( ) ( ) 摘要 :利用严格耦合波理论 RCWA 和等效介质理论 EM T 研究了二维抗反射亚波长周期结构光栅的 设计问题 。以立方体和柱状单台阶网格光栅和金字塔形及圆锥形多台阶光栅为例 ,主要研究了占空比 和表面面形对反射率的影响 。通过计算发现 ,当光栅周期足够小的时候 ,光栅面形对反射率没有影响 , 同时占空比严重影响着光栅的特性 ,这对设计制造抗反射光栅非常有用 。同时也研究了等效介质理论 的适用性 。 关 　键 　词 :抗反射 ;亚波长 ; 占空比;反射率 ;表面面形 中图分类号 :O436. 1 　　文献标识码 :A 1 　引　言 2 　占空比对反射率的影响 　　亚波长光栅可以广泛用作抗反射元件、偏振 2 . 1 　等效介质理论的有效性 器件和窄带滤波器等 。关于它的理论分析[1 ] 、制 为了研究占空比和反射率之间的关系 ,所采用 作[2 ]和设计[3 ,4 ] 已有多篇文献报道 。由于光刻技 的光栅面形见图 1 。整个空间被分成三个区域 : Ⅰ 术的发展 ,使得衍射光学元件重新引起人们的重 区: z 0 , Ⅱ区: 0 ≤z ≤h 和 Ⅲ区: z h ; 其中 视 。为了获得光栅最好的光学特性 ,必须通过研 Ⅰ和Ⅲ都为均匀介质且折射率分别为 n 和 n ; 占空 1 3 究光栅结构对光栅衍射特性的影响 ,从而选择最 比f = ( l ×l ) / ( T ×T ) , l 和 l 分别是沿 x 和 x y x y x y 优化的方法来制作光栅 。Philippe Lalanne 分析 y 方向的凸出部分的宽度, T 和 T 分别是 x 和 y x y 了亚波长闪耀光栅的结构截止点[5 ] 。据了解 , 目 方向的周期; 光栅的沟槽深度为 h 。根据等效介质