新型纳米加工技术的研究.pdfVIP

科 技 前 沿 SCIENCE＆丁ECHNOLOGY 新型纳米加工技术的研究 朱团’ 王英 刑艳。 刘立红 ’ 郭双林 ’ (1．黑河学院物理化学系 黑龙江黑河 164300；2．上海交通大学微纳科学技术研究院 上海 200000；3．东北师范大学化学学院胶 体与界面研究所 吉林长春 130000) 摘 要：新型纳米加工技术是近几年迅速发展并取得突破性进展的一种纳米制造技术，利用无机纳米材料及无机一有机纳束复合图形材 料制备纳米图形化掩模，结合纳米刻蚀技术实现小于30nm的图形结构制备。克服 了传统光刻技术对尺寸的限制和电子束光刻等在设备和 生产速度上的限制，为从宏观到微观纳米图形制作开辟 了新途径。通过新型纳米加工技术的研究，克服 了传统光刘技术对尺寸的限制和电 子束光刻等在设备和生产速度上的限制，为从宏观到微观纳米图形制作开辟 了新途径。 关键词 ：纳米材料 自组装 纳米加工技术 研究 中图分类号：TB383 文献标识码 ：A 文章编号：1672-3791(2014)11(a)一0007-01 纳米加工技术作为引起一场新的产业 布 ，实现 多样化的纳米掩模板制作是纳米 应用于高密度磁存储介质 、悬浮栅和单 电 革命 的科学技术，备受世人瞩 目。随着科技 图形转移工艺的关键步骤之一 。近年来 ，自 子器件的制备 ，也为克服光刻限制 ，实现先 的发展 ，对 电子器件小型化的要求越来越强 组装排布技术在纳米材料大面积均匀单层 进的纳米刻蚀技术提供新 的手段。 烈，各种器件逐渐 由微米 向纳米尺度发展。 排布中具有广泛的应用 。因此 ，采用纳米材 随着纳米技术的发展和电子器件小 型 特别是对纳米器件 、光学器件、高灵敏度传 料的自组装排布技术可以解决纳米掩模材 化的需求 ，新型的纳米加工方法越来越多地 感器、高密度存储器件以及生物芯片制造等 料在基底表面的大面积均匀排布问题 。此 引起人们的关注。新型纳米加工技术的应用 方面的纳米化要求越来越强烈，如何缩小图 外，图形化高分子材料在纳米加工技术中 非常广泛 ，尤其在一些发达国家 ，纳米加工 形尺寸、提高器件的纳米化程度已经成为各 表现出了丰富的图形变化 。因此 ，利用纳米 技术的开发 已经得到广泛 的关注并 已有 多 国科学家们越来越关心的问题。然而 由于传 材料的表面修饰 ，结合有机 图形化材料 ，可 篇专利和文献被发表 。如果不发展纳米加 工 统刻蚀技术的限制使得器件纳米化的发展 望获得更多排列方式和结构的纳米图形掩 技术，在未来的科技竞争中就可能陷入被动 成为 当今 电子器件小型化发展的重要制约 模 ，从而获得 更为丰 富的纳米 图形结构。 地位 。因此开展纳米 加工技术和 方法的研 因素之一 。通过新型纳米加工技术的研究， 3．2刻蚀过程中纳米 图形的稳定性 究 ，不仅可以获得 自主知识产权 ，而且在未 克服 了传统光刻技术对尺寸 的限制和 电子 保持纳米 图形在刻蚀过程 中的稳定性 来的科技竞争中也可 占据主动 此外，纳米 束光刻等在设备和生产速度上的限制 ，为从 是实现纳 米 图形转移 又一关键 问题之 一。 加工技术在多个领域具有广泛的应用 ，如生 宏观到微观纳米 图形制作开辟了新途径。 这一问题我们从三个方面进行研究 。 物 、医药、机械 、电子等领域 。目前世界微纳 (1)通过对纳米材料和基底表面进行不 技术的总营业额将近looo~L美元 ，预测未来 1新型纳米加工技术的基本原理 同的表面修饰 ，改善纳米材料和基底表面 每年纳米技术的市场总额将达15oootL美元。 纳米加工技术是为了适应微 电子及纳米 的结合 力。 我国近年来对纳米加工方面的研究也进 电子技术 、微机械 电子系统的发展而迅速发 (2)利用有机高分子材料的引入 ，增强 行了大力的扶持 ，很多科研单位将纳米加工 展起