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具有指定统计参数的粗糙表面的加工和复制（英文）.pdf
第 13卷 第 2期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 V01．13 No．2
2015年 3月 Nanotechnology and Precision EnIgineering Mar．2015
DOI10．13494／j．npe
LiQing，MaChengfu，ChenYuhang．Fabricationandreproductionofroughsu~aceswithspecifiedstatisticalparameters[J]．Nanotechnolo—
gYandPrecisionEngineering，2015，13(2)：90—101．
FabricationandReproductionofRoughSurfaceswithSpecified
StatisticalParameters
LiQing，MaChengfu，ChenYuhang
(SchoolofEngineeringScience，UniversityofScienceandTechnologyofChina，Hefei230026，China)
Abstract：Surfacemicro-／nano—structuresareofcriticalimportanceowingtotheirdirectrelevancetoa
widerangeoffunctionalperformances．Forthein-depth understandingoftheintrinsicinterdependence
morequantitatively，three-dimensional(3D)roughsurfacesturctureswithpreciselyassignedstatistical
roughnessparametersincludingroot—mean—square(RMS)roughness，skewness，kurtosisandautocorrela—
tionlength，etc．arehighlydemanded．Suchroughsurfacesweredesigned，fabricatedandreproducedin
thispaper．Toimprovedesignaccuracy，especiallyforsurfaceswithlargeautocorrelationlengths，genetic
algorithm (GA)wasintroducedintothenon—linearconjugategradientmethod．Aftertheoptimization，a
setof3D roughstructureswithdifferentheightdistributionsandautocorrelationlengthswerefabricatedby
focusedionbeam (FIB)millingonsiliconsubstrates．Finally，thesturctureswerereproducedonto
polydimethylsil0xane(PDMS)usingpolymercastingmethod．Fromaspectsofvisualimagecomparison，
surfaceparametersevaluationandspectralanalysis，theagreementbetweenthetemplatesandthereplicas
wasevaluatedbasedonatomicforcemicroscopy(AFM)measurements．Thefabricationandreproduction
oftheartifactscansupportfurtherquantitativeinvestigationsoftheroughness--relevantfunctionalperfomr --
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