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真空低温无油精密运动系统的研制 一、 真空低温运动系统的特点  高真空。运动系统安装在钢结构测试平台上，测试平台整体放 入低温高真空容器中，真空度高达10-5pa。在高真空的光路系 统中，要求运动副不能挥发出油渍污染镜片。  超低温。超大的低温高真空容器，最低温度到零下-173 摄氏度 （100K）。超低的温度使各个零件变形，运动情况不能按照常 温情况处理。  运动精度较高，重复定位精度为0.1mm 。  尺寸空间较小而器件尺寸较大。承载物直径φ 100x 长200mm， 重量10kg 左右，运动半圆半径在500mm 左右。  运动平台重量要求较轻，而承载物较重。两个测试体重量超过 15kg，其他机构总质量不能超过65kg，由于目前器件整体尺寸 较大，在设计运动系统时要考虑合理的结构减轻重量。 二、低温防卡死措施 1、低温旋变位置反馈 圆弧轨道处于极低温和无油润滑状态，如果结构卡死或者阻力 过大发生驱动的步进电机丢步情况，将无法直观判断。采用定制的低 温旋变，反馈运动情况，可以判断行程范围内运动精确程度。 2、齿轮配合消间隙 运动系统的特殊性，可选用的齿轮有直齿轮和斜齿轮传动。考虑 到斜齿轮接触后产生两个方向的受力，不容易装配且系统卡死的几率 会大大增加，直齿轮是理想的选择。温度降低到 100k 以后，不采用 任何措施，初步估计将导致 0.4mm 以上的配合间隙，系统将达不到 精度要求。设计巧妙的弹性结构，不显著增加零件的情况下，在室温 装配时适当加大预紧力，待温度降低零件收缩后，结构的弹性力将驱 动小直齿轮移动微小距离，保持齿轮副的紧密接触，不产生接触空回， 达到任务的精度要求。 3、导轨防卡死措施 为了提高系统运行的可靠性，设计中采用了多种防卡死的的措施。  整套系统温度控制，当空间温度较低而导致卡死情况发生时，温 控系统适度加热，圆弧轨道相当于处于大气温度环境的真空系统 中，室温装配能够顺畅运动，那么真空中也不会出问题（当然需 要运动系统在测试罐和系统的整体安装平台上隔热）。  导轨的安装基座结构设计合理，将减少和限制导轨温度产生的变 形，基座的结构采用有限元分析优化设计。  运动系统的行程较长，圆弧轨道拼接不可避免。为了避免拼接产 生的接头错位，导轨的固定螺钉扭力分布不同。拼接接头的外侧 用挡块定位，进一步减少导轨接头的温度形变错位。  圆弧导轨滑块采用大小钢球有序排列，避免过多钢球的过定位， 提高导轨的滑动滑块通过变形圆弧轨道及其接头部分的能力。  整个系统通过超声波清洗后，已经不含有油污，没有润滑作用， 导轨真空镀上二硫化钼固体润滑膜，减少摩擦系数，防止导轨卡 死。  系统使用特制低温电机，最低使用温度低于零下200 摄氏度，真 空度高于10-5 帕。 4 、研制低温限位开关 系统要求定位精度为0.1mm，为了保证系统重新复位的精度，选 装限位开关。由于目前市场上并没有极低温和高真空使用的限位开关， 运动系统在研制过程中，采用弹簧、聚四氟乙烯等材料制作了低温限 位开关，避免极低温状态下普通限位开关可能出现的塑料脆性和油污 污染。 5、有限元优化设计 运用有限元优化设计，可以估算零件在不同温度下的热变形，设 计中优化结构。优化热变形的同时，减轻器件重量。此外，利用热力 学分析模块，还可以估算导轨等保温零件的加热功率，减少项目的不 确定因素和成本。 交流沟通：wud1108@163.com