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真空低温无油精密运动系统的研制.pdf
真空低温无油精密运动系统的研制
一、 真空低温运动系统的特点
高真空。运动系统安装在钢结构测试平台上,测试平台整体放
入低温高真空容器中,真空度高达10-5pa。在高真空的光路系
统中,要求运动副不能挥发出油渍污染镜片。
超低温。超大的低温高真空容器,最低温度到零下-173 摄氏度
(100K)。超低的温度使各个零件变形,运动情况不能按照常
温情况处理。
运动精度较高,重复定位精度为0.1mm 。
尺寸空间较小而器件尺寸较大。承载物直径φ 100x 长200mm,
重量10kg 左右,运动半圆半径在500mm 左右。
运动平台重量要求较轻,而承载物较重。两个测试体重量超过
15kg,其他机构总质量不能超过65kg,由于目前器件整体尺寸
较大,在设计运动系统时要考虑合理的结构减轻重量。
二、低温防卡死措施
1、低温旋变位置反馈
圆弧轨道处于极低温和无油润滑状态,如果结构卡死或者阻力
过大发生驱动的步进电机丢步情况,将无法直观判断。采用定制的低
温旋变,反馈运动情况,可以判断行程范围内运动精确程度。
2、齿轮配合消间隙
运动系统的特殊性,可选用的齿轮有直齿轮和斜齿轮传动。考虑
到斜齿轮接触后产生两个方向的受力,不容易装配且系统卡死的几率
会大大增加,直齿轮是理想的选择。温度降低到 100k 以后,不采用
任何措施,初步估计将导致 0.4mm 以上的配合间隙,系统将达不到
精度要求。设计巧妙的弹性结构,不显著增加零件的情况下,在室温
装配时适当加大预紧力,待温度降低零件收缩后,结构的弹性力将驱
动小直齿轮移动微小距离,保持齿轮副的紧密接触,不产生接触空回,
达到任务的精度要求。
3、导轨防卡死措施
为了提高系统运行的可靠性,设计中采用了多种防卡死的的措施。
整套系统温度控制,当空间温度较低而导致卡死情况发生时,温
控系统适度加热,圆弧轨道相当于处于大气温度环境的真空系统
中,室温装配能够顺畅运动,那么真空中也不会出问题(当然需
要运动系统在测试罐和系统的整体安装平台上隔热)。
导轨的安装基座结构设计合理,将减少和限制导轨温度产生的变
形,基座的结构采用有限元分析优化设计。
运动系统的行程较长,圆弧轨道拼接不可避免。为了避免拼接产
生的接头错位,导轨的固定螺钉扭力分布不同。拼接接头的外侧
用挡块定位,进一步减少导轨接头的温度形变错位。
圆弧导轨滑块采用大小钢球有序排列,避免过多钢球的过定位,
提高导轨的滑动滑块通过变形圆弧轨道及其接头部分的能力。
整个系统通过超声波清洗后,已经不含有油污,没有润滑作用,
导轨真空镀上二硫化钼固体润滑膜,减少摩擦系数,防止导轨卡
死。
系统使用特制低温电机,最低使用温度低于零下200 摄氏度,真
空度高于10-5 帕。
4 、研制低温限位开关
系统要求定位精度为0.1mm,为了保证系统重新复位的精度,选
装限位开关。由于目前市场上并没有极低温和高真空使用的限位开关,
运动系统在研制过程中,采用弹簧、聚四氟乙烯等材料制作了低温限
位开关,避免极低温状态下普通限位开关可能出现的塑料脆性和油污
污染。
5、有限元优化设计
运用有限元优化设计,可以估算零件在不同温度下的热变形,设
计中优化结构。优化热变形的同时,减轻器件重量。此外,利用热力
学分析模块,还可以估算导轨等保温零件的加热功率,减少项目的不
确定因素和成本。
交流沟通:wud1108@163.com
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