基于晶圆优先级的连续型Interbay搬运系统性能分析.pdfVIP

第 49卷第 2期 江 大 学 学 报 (工学版) ofZhejiangUniversity(EngineeringScience) Vo1．49NO．2 2015年 2月 Feb．2O15 DOI：10．3785／j．issn．1008—973X．2015．02．015 基于晶圆优先级的连续型 Interbay搬运系统 性能分析 周炳海，陈锦祥，赵 猛 (同济大学 机械与能源工程学院，上海 201804) 摘 要 ：为 了快速 、有效地评价基于晶圆优先级 的连续型Interbay自动物料搬运系统的性能 ，采用基于排队论的方 法构建了性能分析模型．在建模过程中，为 了使搬运路径多样化 ，引入 了带外环和捷径的脊背式搬运系统．通过控 浙m 制晶圆进入外环与捷径 的优先级，实现了较高优先级的晶圆能快到达 目的地 ．考虑服务时间变动性，引用相关满足 系统排队实际的排 队模型，构建系统期望在制品的数学表达．在相 同的实验条件下，通过分析性能分析模型与 Are— na仿真模型得到的系统在制 品量 ，验证本文提出的性能分析模型的准确性．实验结果表 明，任何情形下的绝对误差 都控制在 5 以下 ，性能分析模型完全能满足系统性能评价的要求． 关键词 ：晶圆制造 ；晶圆优先级；自动物料搬运系统；排 队模型；interbay 中图分类号 ：TP29 文献标志码 ：A 文章编号 ：1008～973X(2015)02—296—07 Performanceanalysisforcontinuousflow transportersofInterbay AM HSwithpriorityrules ZHOU Bing—hai，CHEN Jin—xiang，ZHAO Meng (CollegeofMechanicalEngineering，TongjiUniversity，Shanghai201804，China) Abstract：To quickly and effectively estimate theperformanceofautomated materialhandling systems basedonwaferpriorityrules，queuing—basedmethodswereappliedtostructuretheperformanceanalytical mode1．In themodelingprocedure，tomakethediversityofmaterialhandlingroutes，aspinelayoutof materialhandling systemswith crossoversandan outerringwas introduced．Through controlling the waferpriorityofaccessingtheouterringandshortcuts，itwascometruethatthewaferlotofthehigher priorityquicklyreachesthe destination．Considering thevariabilityofservicetimeofturntables，some queuingmodelswhich match system queuing featurewere introduced to perform theanalyticalmode1